ESD
教育訓練教材訓練課程大綱壹,靜電放電 (ESD)介紹貳,ESD防制之目的參,ESD基本知識介紹肆,ESD防制之設備儀器介紹與使用伍,ESD防制基本作業規範陸,理想之無靜電工作區配備壹,靜電放電 (ESD)介紹
靜電
原因,摩擦、剝離、感應,..
機制,物質因失去或得到電子而帶電
靜電放電
原因,電位不同物體間的電荷移轉
不一定伴隨有電弧或火花發生
ESDS (Electrostatic Discharge Sensitive) ltem
是靜電放電敏感零組件
對於靜電放電敏感易被 ESD破壞的元件組件或模組
SSZ (Static-Safe Zone)
靜電安全區域
內部任一點均符合 Basic Rule之要求的區域
SSP (Static-Safe Package )
靜電安全包裝
ESD Protective Package 靜電放電防護包裝
能夠限制摩擦生電、屏蔽靜電場或免除靜電放電對 ESDS元件產生破壞的包裝
SSW (Static-Safe Workstation)
靜電安全工作站
ESD Portective Workstation靜電放電防護工作
內含 ESDS ltem的特定工作區域,必須符合 SSZ之要求,通常其範圍較小,如 SMT
線、手插件區、測試區、重工區等等
EPA (ESD Protective Area)
靜電放電防護區域
穿戴適當之接地設備,且所有行為亦須遵守其相關規定於 EPA外移動 ESDS
ltems時須以靜電防護材料加以妥善包裝
摩擦生電與靜電放電人體與地毯摩擦產生靜電放電後人體電荷平衡人體經接地後放電
剝離生電物質 A
(電荷平衡 )
接觸 分離物質 B
(帶 負 電荷 )
物質 A
(帶 正 電荷 )
物質 B
(電荷平衡 )
靜電放電模式
人體放電模式
(Human-Body Model,HBM)
機器放電模式
(Machine Model,MM)
元件充電模式
(Charged-Device Model,CDM)
人體放電模式 (HBM)的 ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到 IC
時，人體上的靜電便經由 IC的腳 (pin)而進入 IC內，再經由
IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒 (ns,
nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，
電流會把 IC內的元件給燒毀。
人體放電模式 (HBM)的 ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到 IC
時，人體上的靜電便經由 IC的腳 (pin)而進入 IC內，再經由
IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒 (ns,
nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，
電流會把 IC內的元件給燒毀。
機器放電模式 (MM)的 ESD是指機器 (例如機器手臂 )本身累積了靜電，當此機器去碰觸到 IC時，該靜電便經由 IC
的 pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為 0?；由於 機器放電模式的等效電阻為零，
故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生，因此對元件的破壞力更大。
元件放電模式 (CDM)是指 IC先因磨擦或其他因素而在
IC內部累積了靜電，但在靜電累積的過程中 IC並未受傷。
此帶有靜電的 IC在處理過程中，當其 pin去碰觸到接地面時，
IC內部的靜電便會經由 pin自 IC內部流出來，而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內，
而且此放電現象更難以真實的被模擬。
ESD三種模式比較
HBM與 MM-->人體、機器或環境帶電
HBM是最古老且最常發生的模式，但並非最嚴重的危害模式
MM造成的故障與 HBM類似，但電壓卻遠低於 HBM
，速度亦較 HBM快
CDM-->元件帶電
造成 ESD故障的主要原因
上升時間最快速，產生大電流，快速放電貳,ESD防制之目的
改善產品品質並減少及防制 ESD對電子產品的損害。
藉由教育訓練的實行，降低產品不良的發生與耗損。
改善客戶產品損害，增加產品可靠度。
降低客戶抱怨，提昇產品信譽。
參,ESD基本知識介紹影響靜電荷產生量的因素
相對溼度
物質材料 (摩擦電序列 )
接觸的面積
摩擦頻率典型的 ESD電壓認識靜電放電靜電之產生靜電壓 (kV)
相對溼度 20% 相對溼度 80%
在乙烯基材質的地板走動 12 0.25
在人造地毯上走動 35 1.5
坐離發泡椅墊 18 1.5
拿起聚乙烯塑膠袋 20 0.6
在地上滑動苯乙烯材質的箱子 18 1.5
移除 PC板上的 Mylar 膠帶 12 1.5
PC板上的收縮膜 16 3
作動真空吸錫器 8 1
噴電路冷凝噴霧劑 15 5
溫度,21℃
摩擦電序列材料的影響認識靜電放電
● 所有材料皆可摩擦生電
↑正 (Positive) ● 鋼 (Steel)
● 空氣 (Air) ● 木 (Wood)
● 人手 (Hands) ● 橡膠 (Rubber)
● 玻璃 (Glass) ● 金 (Gold)
● 毛髮 (Hair) ● 多元脂 (Polyester)
● 石英 (Quartz) ● 聚胺脂 (Polyethylene)
● 尼龍 (Nylon) ● 聚乙烯 (Polyethylene)
● 羊毛 (Wool) ● 聚丙烯 (Polypropylene)
● 絲綢 (Silk) ● 乙烯基 (Vinyl)
● 鋁 (Aluminum) ● 矽 (Silicon)
● 紙 (Paper) ● 鐵弗龍 (Teflon)
● 棉 (Cotton) ↓負 (Negative)
導電材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 導電材料 (Conductive Materials)
電流可輕易穿過或流過的材料
● 兩個導體接觸時,電荷會快速移轉
● 可使用接地的方式來「中和」靜電荷
● 表面電阻率小於 1× 105Ω/square或其體積電阻率小於
1× 104Ω-cm的材料 (EIA-625,MIL-263B,ESD ADV 1.0)
● 帶電時電荷會分布於表面
● 受材料形狀,附近的接地或帶電物體影響
● 需特別注意因感應而產生靜電的情況
● 可使用 Field meter量測材料上的靜電壓靜電消散材料與靜電屏蔽材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 靜電消散材料 (Static Dissipative Materials)
● 穿過或流過材料的電流量由材料的表面電阻率或表面電阻來決定
● 表面電阻率至少為 1× 105Ω/square且小於 1× 1012Ω/square,或其體 積電阻率至少為 1× 104Ω-cm且小於 1× 1011Ω-cm
(ESD ADV 1.0,EIA-625-1994,MIL-263B)
● 與另兩種材料以電阻值的範圍作為區別
● 靜電屏蔽材料 (Static Shielding Material)
可防止元件遭受外界靜電場破壞的一種保護屏障
(EIA-625)
絕緣材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 絕緣材料 (Insulative Materials)
可防止或限制電流穿過或流過的材料
● 最主要的靜電源
● 表面電阻率大於 1× 1012Ω/square或其體積電阻率大於
1× 1011Ω-cm的材料 (EIA-625-1994;ESDA ADV 1.0-1994)
● 電阻非常大,很少電子可以流經表面或穿過材料
● 可能同時在表面的不同位置上出現正負電荷
● 以 Field meter量測的結果僅能當作參考
● 在 EPA中應儘量避免使用接地系統
主要目的：將靜電防護設施接地，提供一個路徑使靜電消散材料、導電材料及個人接地設備在同一個電位上，減少 ESDS元件受到破壞。 (ESD S6.1)
人員安全防護：考慮人員碰觸電源時，通過人體的電流。故接觸人體的接地系統必須要有限流電阻 (靜電環 )。
ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地能夠使靜電產生源 (人或物 )藉由此路徑到接地的端點、
排線、金屬線或其他接地系統。 (EIA-625)
Ground(Hard Ground)實接地藉由電子線路或特殊設備和大地 (Earth)連接的導電接點
，和大地間具零電位差。
接地線用導體
接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發生斷線之電線或金屬導體。
肆,ESD防制之設備儀器介紹與使用
表面阻抗測試器
靜電壓測試器
離子風扇
靜電環測試器
靜電環
靜電電荷測試儀表面阻抗測試器
功能,檢測 工作表面靜電消散功能是否符合規範，以減少敏感元件受到 ESD破壞
校驗頻率,1次 /年
操作步驟,
1,將測試設備置於欲量測之位置
2,施以適當之壓力
3,按下綠色鈕
4,進行表面阻抗檢測並記錄讀值靜電壓測試器
功能,檢測環境 &工作區域之 靜電壓值是否低於敏感材料規範
校驗頻率,1次 /年靜電環測試器
功能,檢測 作業員所戴之靜電環功能是否正常 (可接受的範圍 800
千歐姆至 1.2百萬歐姆 )
校驗頻率,1次 /季
操作步驟,
1.檢查測試器接地線是否確實接地
2.將靜電環依正常操作程序配戴
3.按下測試鈕
4,a? oA ·N?q
oO &?á1?T OK
O NG
靜電環測試器
自主檢測方式,
在不接地情況下，做自主檢測此三項測試均 PASS，即測試器,OK,
¤a ′ús
GO
H IG H
§¨ 1M ￡[ 1q ay?A 1q ay
T ouc h ′ús & ¤a
′ús
G oO
GOOD
§¨¤l T ouc h ′ús &
¤a ′ús
GO
L O W
靜電環
型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式
安全性：必須要有 限流電阻 (通常為 1M?,1/4W)
來保護人體安全,
伍,ESD防制基本作業規範
教育訓練及認證
各單位須有一固定之 ESD負責人，並經過公司安排之教育訓練及認證，負責安排每日的測試工作與記錄，並作每月之自主檢查。
各單位視各自情況安排內部教育訓練並應附有檢定之記錄。
所有於靜電安全工作區域作業之人員，均需通過教育訓練及檢定。
ESD管制標誌及標籤
靜電安全工作站須以黃底黑字顯示靜電注意標示 (EIA-471)，除非該工作站位於靜電安全區域內。
標示置放於靜電安全工作站外，大小為距離 1
公尺處可清楚讀取標示上之字體。
所有放置 ESD敏感元件之容器應於顯而易見的位置貼上 ESD靜電防護標籤。
靜電安全工作站之作業指導書應附有 ESD靜電防護標籤。
靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材料 (OI
架、資料夾 …) 時，應使用靜電消散液覆蓋其表面，並定期檢測是否失效。
靜電安全工作區未使用靜電消散液
導電地板之導電銅箔確實銜接廠務接地線，並每月進行不定點檢測及記錄；
每三個月作清洗及打導電蠟之保養維護 (若月檢測未通過測試，即應進行維護工作 ) 。
所有人員進入靜電安全工作區作業，應佩戴靜電環並確實接地；每日定時檢測並記錄。
作業人員進入無塵室須穿著靜電鞋，且應每日檢測並記錄。
作業人員進入靜電安全工作區，應穿戴靜電帽或防塵帽。
靜電衣經清洗後須檢測並記錄。
永久性靜電防護容器應符合規範，並應協請廠商提供證明。
各部門共同注意事項,
應帶靜電手環作業員是否有帶靜電手環,
應帶靜電手套作業員是否有帶靜電手套,
應帶靜電指套作業員是否有帶靜電指套,
靜電環接地是否正確 (引線夾持端與金屬防靜電線確實接觸 )
靜電環是否與皮膚確實接觸
靜電環功能是否正常 (每天用靜電手環測試器上午 /下午各測試一次 )
敏感元件是否于接地良好之桌墊上作業 (用靜電手環測試器測量 )
拿取靜電放電敏感零件時，一定要帶適當地接地的腕帶，對於高移動性的拿取動作，則可使用具有導電性的鞋跟帶或踝帶，直接與地毯接地 。
確保工作台面是使用不會產生靜電的材料。
在靜電放電防護區內不可抽煙或飲食。
確保靜電放電防護設備都已適當的接地並且其導電功能正常,
敏感元件是否放入導電零件盒,抗靜電袋,導電袋或金屬袋,
設備,靜電桌墊是否正確接地 (引線挾持端與金屬防靜電線確實接觸 )
作業環境是否整潔
靜電桌墊的連線 (夾持端與扣子端 ).接地扣是否有松動 /脫落
所有接地靜電桌墊上 ESD Label是否有破損,脫落
每天對,ESD Daily Check List,做確實填寫
設備接地及電腦接地不可與靜電接地共用,
工作人員必須配戴具有 (1M?±10%)電阻器的腕帶,以消除接觸通電電路的電擊危險,腕帶鬆弛的導線部份必需絕緣,因為它可能在工作區內拖曳
未使用抗靜電袋或箱子包裝的零件、電路板或成品,其裸露的零件絕對不可被未接地的人員接觸到,有不可接觸到一般的塑膠或絲織品。
做靜電測定時,須附記當時溫度及濕度,作業現場之相對濕度控制於 40%~70%的極限內,溫度 24±4℃ 。
品保單位 權責,
負責稽核作業人員是否遵循防靜電管理規定及靜電環是否正確使用並檢查製程與設備抗靜電保護是否正確 。
靜電敏感零件半成品於入廠檢驗時,需確認是否抗靜電保護良好,並對供應商做防靜電管制稽核 。
靜電量測建議允收規範
靜電防護搬運箱 (料盒 )
靜電消散型
-- 外層阻抗值 between 106 and 109?/sq
-- 內層 阻抗值 between 106 and 1011?/sq
-- 隔板 阻抗值 between 106 and 1011?/sq
導電型
-- between 103 and 106?/sq
靜電手環 /腳環 Wrist strap/heel strap
1M?± 20% through strap
靜電消散桌墊 /地板
靜電消散型工作表面對地電阻值
between 106 and 109?/sq
導電型工作表面對地電阻值
between 103 and 106?/sq
導電地板其接地之電阻值
between 2.5×104 and 5×106?/sq
靜電消散紡織物品
靜電防護衣、帽
-- surface resistivity 106 ~ 109?/sq
靜電鞋
-- surface resistivity <106?/sq
陸,理想之無靜電工作區配備
教育訓練教材訓練課程大綱壹,靜電放電 (ESD)介紹貳,ESD防制之目的參,ESD基本知識介紹肆,ESD防制之設備儀器介紹與使用伍,ESD防制基本作業規範陸,理想之無靜電工作區配備壹,靜電放電 (ESD)介紹
靜電
原因,摩擦、剝離、感應,..
機制,物質因失去或得到電子而帶電
靜電放電
原因,電位不同物體間的電荷移轉
不一定伴隨有電弧或火花發生
ESDS (Electrostatic Discharge Sensitive) ltem
是靜電放電敏感零組件
對於靜電放電敏感易被 ESD破壞的元件組件或模組
SSZ (Static-Safe Zone)
靜電安全區域
內部任一點均符合 Basic Rule之要求的區域
SSP (Static-Safe Package )
靜電安全包裝
ESD Protective Package 靜電放電防護包裝
能夠限制摩擦生電、屏蔽靜電場或免除靜電放電對 ESDS元件產生破壞的包裝
SSW (Static-Safe Workstation)
靜電安全工作站
ESD Portective Workstation靜電放電防護工作
內含 ESDS ltem的特定工作區域,必須符合 SSZ之要求,通常其範圍較小,如 SMT
線、手插件區、測試區、重工區等等
EPA (ESD Protective Area)
靜電放電防護區域
穿戴適當之接地設備,且所有行為亦須遵守其相關規定於 EPA外移動 ESDS
ltems時須以靜電防護材料加以妥善包裝
摩擦生電與靜電放電人體與地毯摩擦產生靜電放電後人體電荷平衡人體經接地後放電
剝離生電物質 A
(電荷平衡 )
接觸 分離物質 B
(帶 負 電荷 )
物質 A
(帶 正 電荷 )
物質 B
(電荷平衡 )
靜電放電模式
人體放電模式
(Human-Body Model,HBM)
機器放電模式
(Machine Model,MM)
元件充電模式
(Charged-Device Model,CDM)
人體放電模式 (HBM)的 ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到 IC
時，人體上的靜電便經由 IC的腳 (pin)而進入 IC內，再經由
IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒 (ns,
nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，
電流會把 IC內的元件給燒毀。
人體放電模式 (HBM)的 ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到 IC
時，人體上的靜電便經由 IC的腳 (pin)而進入 IC內，再經由
IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒 (ns,
nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，
電流會把 IC內的元件給燒毀。
機器放電模式 (MM)的 ESD是指機器 (例如機器手臂 )本身累積了靜電，當此機器去碰觸到 IC時，該靜電便經由 IC
的 pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為 0?；由於 機器放電模式的等效電阻為零，
故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生，因此對元件的破壞力更大。
元件放電模式 (CDM)是指 IC先因磨擦或其他因素而在
IC內部累積了靜電，但在靜電累積的過程中 IC並未受傷。
此帶有靜電的 IC在處理過程中，當其 pin去碰觸到接地面時，
IC內部的靜電便會經由 pin自 IC內部流出來，而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內，
而且此放電現象更難以真實的被模擬。
ESD三種模式比較
HBM與 MM-->人體、機器或環境帶電
HBM是最古老且最常發生的模式，但並非最嚴重的危害模式
MM造成的故障與 HBM類似，但電壓卻遠低於 HBM
，速度亦較 HBM快
CDM-->元件帶電
造成 ESD故障的主要原因
上升時間最快速，產生大電流，快速放電貳,ESD防制之目的
改善產品品質並減少及防制 ESD對電子產品的損害。
藉由教育訓練的實行，降低產品不良的發生與耗損。
改善客戶產品損害，增加產品可靠度。
降低客戶抱怨，提昇產品信譽。
參,ESD基本知識介紹影響靜電荷產生量的因素
相對溼度
物質材料 (摩擦電序列 )
接觸的面積
摩擦頻率典型的 ESD電壓認識靜電放電靜電之產生靜電壓 (kV)
相對溼度 20% 相對溼度 80%
在乙烯基材質的地板走動 12 0.25
在人造地毯上走動 35 1.5
坐離發泡椅墊 18 1.5
拿起聚乙烯塑膠袋 20 0.6
在地上滑動苯乙烯材質的箱子 18 1.5
移除 PC板上的 Mylar 膠帶 12 1.5
PC板上的收縮膜 16 3
作動真空吸錫器 8 1
噴電路冷凝噴霧劑 15 5
溫度,21℃
摩擦電序列材料的影響認識靜電放電
● 所有材料皆可摩擦生電
↑正 (Positive) ● 鋼 (Steel)
● 空氣 (Air) ● 木 (Wood)
● 人手 (Hands) ● 橡膠 (Rubber)
● 玻璃 (Glass) ● 金 (Gold)
● 毛髮 (Hair) ● 多元脂 (Polyester)
● 石英 (Quartz) ● 聚胺脂 (Polyethylene)
● 尼龍 (Nylon) ● 聚乙烯 (Polyethylene)
● 羊毛 (Wool) ● 聚丙烯 (Polypropylene)
● 絲綢 (Silk) ● 乙烯基 (Vinyl)
● 鋁 (Aluminum) ● 矽 (Silicon)
● 紙 (Paper) ● 鐵弗龍 (Teflon)
● 棉 (Cotton) ↓負 (Negative)
導電材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 導電材料 (Conductive Materials)
電流可輕易穿過或流過的材料
● 兩個導體接觸時,電荷會快速移轉
● 可使用接地的方式來「中和」靜電荷
● 表面電阻率小於 1× 105Ω/square或其體積電阻率小於
1× 104Ω-cm的材料 (EIA-625,MIL-263B,ESD ADV 1.0)
● 帶電時電荷會分布於表面
● 受材料形狀,附近的接地或帶電物體影響
● 需特別注意因感應而產生靜電的情況
● 可使用 Field meter量測材料上的靜電壓靜電消散材料與靜電屏蔽材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 靜電消散材料 (Static Dissipative Materials)
● 穿過或流過材料的電流量由材料的表面電阻率或表面電阻來決定
● 表面電阻率至少為 1× 105Ω/square且小於 1× 1012Ω/square,或其體 積電阻率至少為 1× 104Ω-cm且小於 1× 1011Ω-cm
(ESD ADV 1.0,EIA-625-1994,MIL-263B)
● 與另兩種材料以電阻值的範圍作為區別
● 靜電屏蔽材料 (Static Shielding Material)
可防止元件遭受外界靜電場破壞的一種保護屏障
(EIA-625)
絕緣材料認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
● 絕緣材料 (Insulative Materials)
可防止或限制電流穿過或流過的材料
● 最主要的靜電源
● 表面電阻率大於 1× 1012Ω/square或其體積電阻率大於
1× 1011Ω-cm的材料 (EIA-625-1994;ESDA ADV 1.0-1994)
● 電阻非常大,很少電子可以流經表面或穿過材料
● 可能同時在表面的不同位置上出現正負電荷
● 以 Field meter量測的結果僅能當作參考
● 在 EPA中應儘量避免使用接地系統
主要目的：將靜電防護設施接地，提供一個路徑使靜電消散材料、導電材料及個人接地設備在同一個電位上，減少 ESDS元件受到破壞。 (ESD S6.1)
人員安全防護：考慮人員碰觸電源時，通過人體的電流。故接觸人體的接地系統必須要有限流電阻 (靜電環 )。
ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地能夠使靜電產生源 (人或物 )藉由此路徑到接地的端點、
排線、金屬線或其他接地系統。 (EIA-625)
Ground(Hard Ground)實接地藉由電子線路或特殊設備和大地 (Earth)連接的導電接點
，和大地間具零電位差。
接地線用導體
接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發生斷線之電線或金屬導體。
肆,ESD防制之設備儀器介紹與使用
表面阻抗測試器
靜電壓測試器
離子風扇
靜電環測試器
靜電環
靜電電荷測試儀表面阻抗測試器
功能,檢測 工作表面靜電消散功能是否符合規範，以減少敏感元件受到 ESD破壞
校驗頻率,1次 /年
操作步驟,
1,將測試設備置於欲量測之位置
2,施以適當之壓力
3,按下綠色鈕
4,進行表面阻抗檢測並記錄讀值靜電壓測試器
功能,檢測環境 &工作區域之 靜電壓值是否低於敏感材料規範
校驗頻率,1次 /年靜電環測試器
功能,檢測 作業員所戴之靜電環功能是否正常 (可接受的範圍 800
千歐姆至 1.2百萬歐姆 )
校驗頻率,1次 /季
操作步驟,
1.檢查測試器接地線是否確實接地
2.將靜電環依正常操作程序配戴
3.按下測試鈕
4,a? oA ·N?q
oO &?á1?T OK
O NG
靜電環測試器
自主檢測方式,
在不接地情況下，做自主檢測此三項測試均 PASS，即測試器,OK,
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GO
H IG H
§¨ 1M ￡[ 1q ay?A 1q ay
T ouc h ′ús & ¤a
′ús
G oO
GOOD
§¨¤l T ouc h ′ús &
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GO
L O W
靜電環
型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式
安全性：必須要有 限流電阻 (通常為 1M?,1/4W)
來保護人體安全,
伍,ESD防制基本作業規範
教育訓練及認證
各單位須有一固定之 ESD負責人，並經過公司安排之教育訓練及認證，負責安排每日的測試工作與記錄，並作每月之自主檢查。
各單位視各自情況安排內部教育訓練並應附有檢定之記錄。
所有於靜電安全工作區域作業之人員，均需通過教育訓練及檢定。
ESD管制標誌及標籤
靜電安全工作站須以黃底黑字顯示靜電注意標示 (EIA-471)，除非該工作站位於靜電安全區域內。
標示置放於靜電安全工作站外，大小為距離 1
公尺處可清楚讀取標示上之字體。
所有放置 ESD敏感元件之容器應於顯而易見的位置貼上 ESD靜電防護標籤。
靜電安全工作站之作業指導書應附有 ESD靜電防護標籤。
靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材料 (OI
架、資料夾 …) 時，應使用靜電消散液覆蓋其表面，並定期檢測是否失效。
靜電安全工作區未使用靜電消散液
導電地板之導電銅箔確實銜接廠務接地線，並每月進行不定點檢測及記錄；
每三個月作清洗及打導電蠟之保養維護 (若月檢測未通過測試，即應進行維護工作 ) 。
所有人員進入靜電安全工作區作業，應佩戴靜電環並確實接地；每日定時檢測並記錄。
作業人員進入無塵室須穿著靜電鞋，且應每日檢測並記錄。
作業人員進入靜電安全工作區，應穿戴靜電帽或防塵帽。
靜電衣經清洗後須檢測並記錄。
永久性靜電防護容器應符合規範，並應協請廠商提供證明。
各部門共同注意事項,
應帶靜電手環作業員是否有帶靜電手環,
應帶靜電手套作業員是否有帶靜電手套,
應帶靜電指套作業員是否有帶靜電指套,
靜電環接地是否正確 (引線夾持端與金屬防靜電線確實接觸 )
靜電環是否與皮膚確實接觸
靜電環功能是否正常 (每天用靜電手環測試器上午 /下午各測試一次 )
敏感元件是否于接地良好之桌墊上作業 (用靜電手環測試器測量 )
拿取靜電放電敏感零件時，一定要帶適當地接地的腕帶，對於高移動性的拿取動作，則可使用具有導電性的鞋跟帶或踝帶，直接與地毯接地 。
確保工作台面是使用不會產生靜電的材料。
在靜電放電防護區內不可抽煙或飲食。
確保靜電放電防護設備都已適當的接地並且其導電功能正常,
敏感元件是否放入導電零件盒,抗靜電袋,導電袋或金屬袋,
設備,靜電桌墊是否正確接地 (引線挾持端與金屬防靜電線確實接觸 )
作業環境是否整潔
靜電桌墊的連線 (夾持端與扣子端 ).接地扣是否有松動 /脫落
所有接地靜電桌墊上 ESD Label是否有破損,脫落
每天對,ESD Daily Check List,做確實填寫
設備接地及電腦接地不可與靜電接地共用,
工作人員必須配戴具有 (1M?±10%)電阻器的腕帶,以消除接觸通電電路的電擊危險,腕帶鬆弛的導線部份必需絕緣,因為它可能在工作區內拖曳
未使用抗靜電袋或箱子包裝的零件、電路板或成品,其裸露的零件絕對不可被未接地的人員接觸到,有不可接觸到一般的塑膠或絲織品。
做靜電測定時,須附記當時溫度及濕度,作業現場之相對濕度控制於 40%~70%的極限內,溫度 24±4℃ 。
品保單位 權責,
負責稽核作業人員是否遵循防靜電管理規定及靜電環是否正確使用並檢查製程與設備抗靜電保護是否正確 。
靜電敏感零件半成品於入廠檢驗時,需確認是否抗靜電保護良好,並對供應商做防靜電管制稽核 。
靜電量測建議允收規範
靜電防護搬運箱 (料盒 )
靜電消散型
-- 外層阻抗值 between 106 and 109?/sq
-- 內層 阻抗值 between 106 and 1011?/sq
-- 隔板 阻抗值 between 106 and 1011?/sq
導電型
-- between 103 and 106?/sq
靜電手環 /腳環 Wrist strap/heel strap
1M?± 20% through strap
靜電消散桌墊 /地板
靜電消散型工作表面對地電阻值
between 106 and 109?/sq
導電型工作表面對地電阻值
between 103 and 106?/sq
導電地板其接地之電阻值
between 2.5×104 and 5×106?/sq
靜電消散紡織物品
靜電防護衣、帽
-- surface resistivity 106 ~ 109?/sq
靜電鞋
-- surface resistivity <106?/sq
陸,理想之無靜電工作區配備
