超高真空技术及其应用课程代码:319.145.1
课程性质:专业选修课学分,2 周学时:2
课程内容:
真空的基本概念和基本理论真空的基本概念表示真空度的压强单位真空区域的划分稀薄气体的基本性质气体性质的宏观参量气体性质的微观参量真空环境下气体的输运现象输运现象输运机理和真空度的关系分子态时的输运现象超高真空的获得真空泵的基本概况真空泵性能的主要指标真空泵的基本类型扩散泵结构工作原理基本性能设计和使用的注意事项溅射离子泵二极型溅射离子泵溅射离子泵的工作特性涡轮分子泵涡轮分子泵的分类和工作原理有关涡轮分子泵理论的简介钛升华泵和低温冷凝泵表面吸附钛升华泵低温冷凝泵粗抽泵和前级泵旋片机械泵干泵低温（77K）吸附泵超高真空机组抽气时间真空状态下的气体流动气体流动过程的基本物理量体积流速流量流阻后流导真空条件下气流的基本状态和判据湍流粘滯流分子流流导的计算粘滯流状态的流导分子流状态的流导流阻对抽速的影响用于超高真空系统的材料和部件材料选择的基本考虑气体在固体中的溶解渗透出气表面蒸发超高真空系统中常用的材料不宜用于超高真空系统中的材料真空卫生超高真空系统的部件真空的测量绝对真空规相对真空规热导真空规电离真空规残气成分分析和真空捡漏技术残气成分分析真空捡漏技术