1
过去的 10多年中，在表面工程的研究领域取得了长足的进展，主要表现在以下几个方面：
（ 1）传统工艺的优化 （比如，电镀及化学镀、表面堆焊、热喷涂及化学热处理）；
（ 2）现代技术的工业化应用（比如,CVD
及
PVD、等离子化学热处理、等离子喷涂及离子注入）；
（ 3）新型混合工艺的出现（比如，等离子浸没离子注入及等离子源离子注入）；
第七章 材料复合表面处理技术
2
（ 4）新型表面涂层材料的涌现（比如，金刚石及类金刚石涂层）。
单一的表面处理工艺尽管能够改善工件的耐磨性、耐腐蚀性及疲劳强度；但每一种表面处理工艺均具有自身的优点及一定的局限性，现代机械设备的发展对零、部件的使用性能提出了越来越高的要求，应用单一的表面处理工艺已难以满足这些要求，在这种背景之下，第二代表面处理工艺或称复合表面处理工艺就应运而生了。
第七章 材料复合表面处理技术
3
复合表面处理就是同时使用两种或两种以上的表面处理工艺以达到进一步强化表面性能的目的。目前已开发的一些复合表面处理如等离子喷涂与激光辐照复合、热喷涂与喷丸复合、化学热处理与电镀复合、激光淬火与化学热处理复合、
化学热处理与气相沉积复合等，已经取得良好效果，有的还收到意想不到的效果。如对渗硼层进第七章 材料复合表面处理技术
4
复合表面处理技术的主要作用是：
改善摩擦学性能 使极小磨损率与较厚耐磨层并存,增强复杂应力条件下的摩擦学性能，从而提高材料的使用性能。
提高防腐蚀性能 提高材料表面的正电位,
减少疏松或孔隙,覆盖住材料表面的微观粗糙度,避免表面与基体之间产生类柱状晶组织,使膜层厚度与耐蚀性之间达到最佳组成，从而大幅度提高耐蚀性。
第七章 材料复合表面处理技术
5
增加表面装饰性 材料耐磨性和耐蚀性的有机结合增加了材料表面层的持久性和多色泽的组合，达到理想的装饰性效果。
改进施工工艺性 用作塑料金属化处理 （ 表面导电性处理 ）,印刷电路板制作,油漆底层等,增强表面处理层的附着性和工艺效果
（ 如导电性好,结合强度高,油漆表面光泽，漆膜耐蚀性强等）。
第七章 材料复合表面处理技术
6
根据两种单一工艺之间的相互作用以及其对复合涂层综合性能的相对贡献，复合表面处理工艺大致可以分为两类：
（ 1）两种单一工艺互补，综合性能由两者共同产生；
（ 2）一种工艺递补或增强另一种工艺，即作为前处理或后处理工艺，其综合性能主要与其中一种工艺有关。渗氮钢的 PVD处理是第一类工艺的典型代表；而喷涂涂层的电子束表面重熔则是第二类工艺的典型代表。
第七章 材料复合表面处理技术
7
若根据复合工艺中所采用的单一工艺的属性来划分，复合表面处理技术的种类很多，
目前研究较多的有以下四类：
（ 1）化学热处理与其它表面技术的复合；
（ 2）电镀与其它表面技术的复合；
（ 3）热喷涂与其它表面技术的复合；
（ 4）多层薄膜复合工艺。它们适用于各种碳钢、铸铁、不锈钢、合金工具钢、钛合金和塑料等工程材料。
第七章 材料复合表面处理技术
8
化学热处理＋薄膜复合工艺在表面复合处理技术中，化学热处理工艺主要是对工件进行气体氮化、离子氮化及氮碳共渗。
1．氮化＋薄膜复合工艺将氮化与薄膜技术结合起来对钢作表面处理，可进一步改善材料的摩擦学性能，从而提高其承载能力。
第七章 材料复合表面处理技术
9
化学热处理＋薄膜复合工艺
1．氮化＋薄膜复合工艺将氮化与薄膜技术结合起来对钢作表面处理，可进一步改善材料的摩擦学性能，从而提高其承载能力。由于氮化后的钢表面有较深的硬化层（ >0.3mm），具有一定的硬度、
耐磨性和残余压应力，构成了 TiN,CrN等超硬薄膜的理想支承体，其承载能力远远超过单一超硬薄膜或氮化物层。
第七章 材料复合表面处理技术
10
化学热处理＋薄膜复合工艺
1．氮化＋薄膜复合工艺同时,因为增加了硬化层的总厚度,减少了从 TiN,CrN表面到钢基体之间的硬度梯度,使得材料表面的耐腐蚀性,耐磨性,滚动接触疲劳强度和 TiN,CrN层的附着性能都大为提高。
第七章 材料复合表面处理技术
11
化学热处理＋薄膜复合工艺
2,离子氮化＋激光相变硬化离子氮化和激光相变硬化是提高材料表面耐磨性的十分实用而有效的两种表面处理技术，将这两种技术相结合形成的离子氮化＋激光相变硬化复合处理技术显示出良好的应用发展前景。
第七章 材料复合表面处理技术
12
化学热处理＋薄膜复合工艺
2,离子氮化＋激光相变硬化对 42CrMo钢进行的试验研究表明：复合处理的表面硬度及硬化层深度分别为 950HV及
0.46mm，远远高于单一离子氮化和单一激光相变硬化的表面硬度及硬化层深度；其耐磨性比单一离子氮化提高 75%，比单一激光相变硬化提高 38%。
第七章 材料复合表面处理技术
13
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺氮碳共渗＋氧化 /氧化 /抛光复合工艺的处理过程包括五个步骤：
（ 1）工件在 ℃ 左右预热，保温时间视工件大小而定。
（ 2）在 570℃ 进行氮碳共渗，保温时间一般在 30～ 120分钟。
第七章 材料复合表面处理技术
14
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺
（ 3）氮碳共渗后将工件立即移至 350℃ 左右的氧化性盐浴中直接保温 20分钟左右。
（ 4）工件轻度机械抛光获得要求的表面粗糙度。
（ 5）再次在氧化性盐浴中浸渍 20分钟左右。
氮碳共渗可使钢制零件表面形成一层 15～
20μm的 ε相化合物层；
第七章 材料复合表面处理技术
15
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺随后的氧化能够在试样表面形成一层 Fe3O4
氧化膜，同时增加工件的尺寸稳定性；抛光的目的是为了降低因氮碳共渗及氧化而产生的表面粗糙度的增加；但抛光往往会使耐蚀性下降，因而最后再进行一次氧化处理，以便在工件表面形成一层均匀、致密、坚实的
Fe3O4薄膜。
第七章 材料复合表面处理技术
16
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺复合工艺处理后,试样的摩擦系数较低,
表面化合物层具有较高的硬度 （ 视基体材料不同大致在 600～ 1200HV范围内 ） 并可降低与配偶摩擦件的冷焊倾向,因此,该工艺可赋予工件表面极高的耐磨性 。 表 7.3列出了 45
钢经常规淬火,高频淬火,复合处理以及 20
钢渗碳淬火后的磨损试验结果 。 由表可见,
复合处理后，工件的耐磨性可成倍的提高。
第七章 材料复合表面处理技术
17
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺试验还表明,复合处理的 45钢耐磨性也远远超过镀硬铬,镀锌及化学镀镍 。 其中镀硬铬件及镀锌件在磨损试验过程中很短时间内便出现剥落，因此磨损十分严重。
复合工艺处理后的工件具有氮化及氧化二层抗蚀性很好的渗层，因此该工艺具有很好的耐蚀性。
第七章 材料复合表面处理技术
18
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺氮碳共渗＋氧化 /氧化 /抛光复合工艺可以对各种结构钢,工具钢,纯铁,铸铁,不锈钢及粉末冶金件进行表面处理,用于替代渗碳淬火,高频淬火,镀硬铬,镀锌,化学镀镍,镀锌磷化涂 MoS2等处理工艺,可广泛应用于汽车,轻纺,石油,化工,农机,煤矿,工程等机械以及工,模具等各种耐磨,
抗蚀、耐疲劳等零件。
第七章 材料复合表面处理技术
19
化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍将氮碳共渗和化学镀镍两种工艺进行复合，则形成了一种低温渗镀复合强化新技术。经渗镀复合强化的零件，其有效硬化层深度增加，表面硬度比单一的共渗层高；因表面化合物层疏松所造成的硬度和耐蚀性下降得到了改善和提高；由于低于相变温度处理，零件变形很小。
第七章 材料复合表面处理技术
20
化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍零件有效硬化层深度增加提高了对载荷和冲击的承受能力。对低温渗镀复合强化进行试验研究表明：渗镀层分布均匀，镀层与渗层结合良好，化合物层＋扩散层＋镀层的厚度达 0.35～ 0.45mm，表面显微硬度达 750HV
左右。经渗镀复合强化的零件，有效硬化层深度比单一的氮碳共渗增加近一倍，表面硬度也比共渗表层高 200HV左右。
第七章 材料复合表面处理技术
21
化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍共渗后镀镍磷，通过活化和镍磷原子填入，大大降低了化合物疏松程度对表面质量的影响。盐雾试验表明，渗镀复合强化后的零件表面耐蚀性优于单一的氮碳共渗。
生产应用表明：对于要尺寸精度高、表面耐磨的钢铁零件，采用渗镀复合处理，解决了零件变形问题，同时又增加了表面度和耐磨性，提高了使用性能。
第七章 材料复合表面处理技术
22
7.1 化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍对要求尺寸精度高、表面耐磨的钢铁零件，采用渗镀复合强化处理，解决了零件变形问题，同时又增加了表面硬度和耐磨性，
提高了使用寿命，已经在生产上获得了应用。
第七章 材料复合表面处理技术
23
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺它主要是满足材料更高的耐腐蚀性和特殊工艺的要求。
PVD和 CVD沉积层硬度高，耐磨性好，一般正电位也较高，十分耐蚀。由于这类沉积层通常仅几个微米厚，不足以覆盖基体表面的粗糙度和其他一些缺陷，从而存在腐蚀的隐患，最终导致局部腐蚀。
第七章 材料复合表面处理技术
24
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺另外，由于沉积层定向生长、形成的纤维状沉积层结构所产生的晶界增大了电解液向内的扩散速度，也使材料的整体耐蚀性下降。若要增加超硬沉积层厚度，形成致密无缺陷的表面，就目前 PVD,CVD技术而言还难以实现，况且也不经济。
第七章 材料复合表面处理技术
25
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺相比之下，电镀技术却具有很高的沉积速率，易于形成厚而平整的耐蚀沉积层，只是无法达到 PVD,CVD沉积层那么高的硬度和耐磨性。因此，将二者结合起来能满足材料某些特殊的耐磨性和耐蚀性要求。
第七章 材料复合表面处理技术
26
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺相比之下，电镀技术却具有很高的沉积速率，易于形成厚而平整的耐蚀沉积层，只是无法达到 PVD,CVD沉积层那么高的硬度和耐磨性。因此，将二者结合起来能满足材料某些特殊的耐磨性和耐蚀性要求。
复合处理层的耐腐蚀性明显高于单一电镀镍层（它在相当小的腐蚀电流下就出现钝化现象）。由于复合处理层与沉积金属之间有较好的相容性，因而它的摩擦学性能十分理想。
第七章 材料复合表面处理技术
27
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺由于 PVD沉积层的颜色可以从金黄色到黑色逐渐变化（主要是 Ⅳ B～ Ⅵ B元素的氮化物、碳化物或碳氮化物），电镀与之结合可以用于耐蚀性和耐磨性要求极高的装饰性表面。电镀镍＋镀铬，再经 PVD沉积能消除镀铬层网状裂纹对镀层光泽的不良影响，成为一种较为经济的装饰镀工艺。
第七章 材料复合表面处理技术
28
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺薄膜技术原则上可以沉积任何物质。因此，它可以在一些难以电镀或无法电镀的材料上沉积表面保护层，如在某些塑料表面沉积金属膜，实现塑料金属化，也可沉积 W、
Ti,TiN等膜层。然而，由于薄膜的沉积速率不高，实现金属化后需再电镀使涂层增厚，
故这一复合处理技术已成为难镀材料表面处理的一种手段。
第七章 材料复合表面处理技术
29
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺这种处理的主要目的是形成新的化合物结构,提高工艺效果,改善摩擦学性能及耐蚀性能。
现在,对这类复合工艺的研究多集中在镀铬层的化学热处理方面 。 镀铬层硬度高,用量大,涉及面广,先前的研究方法主要是对镀铬层进行液体氮化处理,继而对镀层进行辉光离子氮化处理,最后再进行离子碳氮共渗处理 。
第七章 材料复合表面处理技术
30
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺用弥散镀铬方法制取含有活性碳的弥散镀铬层后，进行离子碳氮共渗复合处理，生成具有特殊界面及硬度高、耐磨性好的表面，
也是一种有发展前景的新型表面强化技术。
研究表明，复合处理的表层硬度比镀铬、
离子氮化、离子氮碳共渗都高；
第七章 材料复合表面处理技术
31
7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺弥散镀铬后离子氮碳共渗所生成的表层还具有较高的红硬性,400℃ 时高温显微硬度为 7000M P a,而普通硬铬层仅为
4000MPa；复合处理的表层耐磨性和边界润 滑 条 件 下 的 抗擦伤负荷也有明显提高。
第七章 材料复合表面处理技术
32
7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理等离子喷涂得到的覆盖层（涂层）的物理
－机械性能虽然高于其它喷涂方法，但却远低于堆焊所得到的机械性能。为了改善涂层的性质，将喷涂工艺与涂层的重熔处理相结合是一种十分有效的复合表面处理工艺。
涂层的重熔可以用等离子射流或激光束进行，这样既保证了局部加热，又不影响整个零件的处理。
第七章 材料复合表面处理技术
33
7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理在涂层重熔时,熔化的一般只是其合金中最易熔化的成分,由于液相有助于扩散过程,熔化的结果大大提高了涂层和基体的结合强度，消除了孔隙，增加了机械强度。
例如,45钢基体上镍基合金重熔涂层的显微硬度可高达淬火硬度的 5～ 10倍，因而耐磨性得以显著提高。重熔后涂层和基体表面的结合强度可提高 8～ 10倍；由于涂层的硬度提高，其疲劳强度提高 20～ 25%。
第七章 材料复合表面处理技术
34
7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理这种工艺可以用来修复在大交变载荷和接触应力条件下工作的零件，如凸轮轴、曲轴等。
2,热喷涂＋氮化热喷涂可使材料薄膜具有耐磨性,抗蚀性,隔热性,导电及绝缘性等多种性能；但热喷涂会产生各向异性,微观疏松等缺陷,
在较硬材料上喷涂时涂层结合力比较弱。
第七章 材料复合表面处理技术
35
7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
2,热喷涂＋氮化国外学者对热喷涂涂层进行了离子氮化和气体氮化复合处理，在克服热喷涂涂层的上述缺陷方面取得了一定的进展。
研究表明：如果热喷涂涂层中包含足够量的溶解氮的元素 （ 如 Fe,Cr）,则热喷涂＋
氮化工艺是完全可行的,而且会形成氮化物 。 复合处理后的硬度比单一热喷涂有所提高。
第七章 材料复合表面处理技术
36
7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
2,热喷涂＋氮化若采用热喷涂＋气体氮化复合工艺，则喷涂层和层下基体都会产生氮化效果，从而使硬度分布更为平缓，不仅提高了喷涂层和基体的结合力，而且可以显著的改善耐磨性。
第七章 材料复合表面处理技术
37
7.4 多层薄膜复合工艺多层膜复合工艺是利用镀覆和气相沉积等技术在材料表面形成多层薄膜的方法。
大量研究表明，多层涂层能满足多种性能要求，这是因为其具有如下优点：
（ 1）可获得各个不同材料单层特性的综合特性；
（ 2）与底村更牢固地粘结；
第七章 材料复合表面处理技术
38
7.4 多层薄膜复合工艺
（ 3） 多层涂层中多个平行于底村表面的界面可有效地拟制裂纹的产生和扩展,从而提高涂层的硬度和韧性,并获得适当的硬度／韧性比和残余应力；
（ 4） 可获得高致密度的厚 （ ＞ 10μm） 涂层,满足切削刀具,磨粒磨损和冲蚀磨损等工况下的使用要求； （ 5） 多层膜具有,应力阻挡,作用,可降低表面与次表面的最大应力，从而具有较高的承载能力。
第七章 材料复合表面处理技术
39
7.4 多层薄膜复合工艺目前，部分多层涂层产品已获得成功应用，如以 TiN为外层，由 TiN,TiCN和 Al2O3
交替组成的 8层涂层及由 Al2O3/TiC/ TiN组成的 3层涂层都在不同切削工况下获得了成功应用并已实现了商品化。但针对多层膜的基础研究仍处于初级阶段。
第七章 材料复合表面处理技术
40
7.4 多层薄膜复合工艺不同性能单层材料的排列组合种类繁多,
关于软一硬,硬一硬交替及不同重叠周期
（ 单层厚度及周期 ） 的多层涂层都有报导,
但还未形成公认的理论和设计指南。
不过,目前在以下几方面已取得了共识：
（ 1） 一般多层膜均具有比单层膜更好的物理力学和摩擦学性能,而且其效果远远超过了
Koehler多层强化模型所预料的效果；
第七章 材料复合表面处理技术
41
7.4 多层薄膜复合工艺
（ 2） 按照 Koehler模型,在多层强化涂层中,较少层数的均质和非均质结构单层组成的多层涂层比层数很多的超晶格 （ 超模量 ）
多层涂层具有更优异的摩擦学特性,换言之在性能,组分和结构上具有梯度特征的多层体系具有更优异的摩擦学特性； （ 3） 最外层,涂层总厚度及层数主要取决于工况条件。
第七章 材料复合表面处理技术
42
7.4 多层薄膜复合工艺作为一种新型的表面处理技术,表面复合处理技术建立在许多新老表面技术基础之上,是多学科交叉的技术,涉及到界面理论和非平衡表面相变动力学等复杂问题,它综合了单一表面处理技术的优点和功能,其应用领域较广。
第七章 材料复合表面处理技术
43
7.4 多层薄膜复合工艺目前，试验研究多，理论探讨少，但表面复合技术在工程方面的应用已经起步，如装饰性手柄 Ni＋ PdNi＋ TiN复合涂层,Cr12轴瓦冲压模的 Cr弥散层离子碳氮共渗复合处理和塑料板复合镀铜工艺等都已经取得较好的效果，若要推广应用，尚需进一步解决工艺材料的适应性、可操作性及经济性等方面问题。
第七章 材料复合表面处理技术
过去的 10多年中，在表面工程的研究领域取得了长足的进展，主要表现在以下几个方面：
（ 1）传统工艺的优化 （比如，电镀及化学镀、表面堆焊、热喷涂及化学热处理）；
（ 2）现代技术的工业化应用（比如,CVD
及
PVD、等离子化学热处理、等离子喷涂及离子注入）；
（ 3）新型混合工艺的出现（比如，等离子浸没离子注入及等离子源离子注入）；
第七章 材料复合表面处理技术
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（ 4）新型表面涂层材料的涌现（比如，金刚石及类金刚石涂层）。
单一的表面处理工艺尽管能够改善工件的耐磨性、耐腐蚀性及疲劳强度；但每一种表面处理工艺均具有自身的优点及一定的局限性，现代机械设备的发展对零、部件的使用性能提出了越来越高的要求，应用单一的表面处理工艺已难以满足这些要求，在这种背景之下，第二代表面处理工艺或称复合表面处理工艺就应运而生了。
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复合表面处理就是同时使用两种或两种以上的表面处理工艺以达到进一步强化表面性能的目的。目前已开发的一些复合表面处理如等离子喷涂与激光辐照复合、热喷涂与喷丸复合、化学热处理与电镀复合、激光淬火与化学热处理复合、
化学热处理与气相沉积复合等，已经取得良好效果，有的还收到意想不到的效果。如对渗硼层进第七章 材料复合表面处理技术
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复合表面处理技术的主要作用是：
改善摩擦学性能 使极小磨损率与较厚耐磨层并存,增强复杂应力条件下的摩擦学性能，从而提高材料的使用性能。
提高防腐蚀性能 提高材料表面的正电位,
减少疏松或孔隙,覆盖住材料表面的微观粗糙度,避免表面与基体之间产生类柱状晶组织,使膜层厚度与耐蚀性之间达到最佳组成，从而大幅度提高耐蚀性。
第七章 材料复合表面处理技术
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增加表面装饰性 材料耐磨性和耐蚀性的有机结合增加了材料表面层的持久性和多色泽的组合，达到理想的装饰性效果。
改进施工工艺性 用作塑料金属化处理 （ 表面导电性处理 ）,印刷电路板制作,油漆底层等,增强表面处理层的附着性和工艺效果
（ 如导电性好,结合强度高,油漆表面光泽，漆膜耐蚀性强等）。
第七章 材料复合表面处理技术
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根据两种单一工艺之间的相互作用以及其对复合涂层综合性能的相对贡献，复合表面处理工艺大致可以分为两类：
（ 1）两种单一工艺互补，综合性能由两者共同产生；
（ 2）一种工艺递补或增强另一种工艺，即作为前处理或后处理工艺，其综合性能主要与其中一种工艺有关。渗氮钢的 PVD处理是第一类工艺的典型代表；而喷涂涂层的电子束表面重熔则是第二类工艺的典型代表。
第七章 材料复合表面处理技术
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若根据复合工艺中所采用的单一工艺的属性来划分，复合表面处理技术的种类很多，
目前研究较多的有以下四类：
（ 1）化学热处理与其它表面技术的复合；
（ 2）电镀与其它表面技术的复合；
（ 3）热喷涂与其它表面技术的复合；
（ 4）多层薄膜复合工艺。它们适用于各种碳钢、铸铁、不锈钢、合金工具钢、钛合金和塑料等工程材料。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺在表面复合处理技术中，化学热处理工艺主要是对工件进行气体氮化、离子氮化及氮碳共渗。
1．氮化＋薄膜复合工艺将氮化与薄膜技术结合起来对钢作表面处理，可进一步改善材料的摩擦学性能，从而提高其承载能力。
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化学热处理＋薄膜复合工艺
1．氮化＋薄膜复合工艺将氮化与薄膜技术结合起来对钢作表面处理，可进一步改善材料的摩擦学性能，从而提高其承载能力。由于氮化后的钢表面有较深的硬化层（ >0.3mm），具有一定的硬度、
耐磨性和残余压应力，构成了 TiN,CrN等超硬薄膜的理想支承体，其承载能力远远超过单一超硬薄膜或氮化物层。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
1．氮化＋薄膜复合工艺同时,因为增加了硬化层的总厚度,减少了从 TiN,CrN表面到钢基体之间的硬度梯度,使得材料表面的耐腐蚀性,耐磨性,滚动接触疲劳强度和 TiN,CrN层的附着性能都大为提高。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
2,离子氮化＋激光相变硬化离子氮化和激光相变硬化是提高材料表面耐磨性的十分实用而有效的两种表面处理技术，将这两种技术相结合形成的离子氮化＋激光相变硬化复合处理技术显示出良好的应用发展前景。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
2,离子氮化＋激光相变硬化对 42CrMo钢进行的试验研究表明：复合处理的表面硬度及硬化层深度分别为 950HV及
0.46mm，远远高于单一离子氮化和单一激光相变硬化的表面硬度及硬化层深度；其耐磨性比单一离子氮化提高 75%，比单一激光相变硬化提高 38%。
第七章 材料复合表面处理技术
13
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺氮碳共渗＋氧化 /氧化 /抛光复合工艺的处理过程包括五个步骤：
（ 1）工件在 ℃ 左右预热，保温时间视工件大小而定。
（ 2）在 570℃ 进行氮碳共渗，保温时间一般在 30～ 120分钟。
第七章 材料复合表面处理技术
14
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺
（ 3）氮碳共渗后将工件立即移至 350℃ 左右的氧化性盐浴中直接保温 20分钟左右。
（ 4）工件轻度机械抛光获得要求的表面粗糙度。
（ 5）再次在氧化性盐浴中浸渍 20分钟左右。
氮碳共渗可使钢制零件表面形成一层 15～
20μm的 ε相化合物层；
第七章 材料复合表面处理技术
15
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺随后的氧化能够在试样表面形成一层 Fe3O4
氧化膜，同时增加工件的尺寸稳定性；抛光的目的是为了降低因氮碳共渗及氧化而产生的表面粗糙度的增加；但抛光往往会使耐蚀性下降，因而最后再进行一次氧化处理，以便在工件表面形成一层均匀、致密、坚实的
Fe3O4薄膜。
第七章 材料复合表面处理技术
16
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺复合工艺处理后,试样的摩擦系数较低,
表面化合物层具有较高的硬度 （ 视基体材料不同大致在 600～ 1200HV范围内 ） 并可降低与配偶摩擦件的冷焊倾向,因此,该工艺可赋予工件表面极高的耐磨性 。 表 7.3列出了 45
钢经常规淬火,高频淬火,复合处理以及 20
钢渗碳淬火后的磨损试验结果 。 由表可见,
复合处理后，工件的耐磨性可成倍的提高。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺试验还表明,复合处理的 45钢耐磨性也远远超过镀硬铬,镀锌及化学镀镍 。 其中镀硬铬件及镀锌件在磨损试验过程中很短时间内便出现剥落，因此磨损十分严重。
复合工艺处理后的工件具有氮化及氧化二层抗蚀性很好的渗层，因此该工艺具有很好的耐蚀性。
第七章 材料复合表面处理技术
18
化学热处理＋薄膜复合工艺
3,氮碳共渗＋氧化 /氧化抛光 /复合工艺氮碳共渗＋氧化 /氧化 /抛光复合工艺可以对各种结构钢,工具钢,纯铁,铸铁,不锈钢及粉末冶金件进行表面处理,用于替代渗碳淬火,高频淬火,镀硬铬,镀锌,化学镀镍,镀锌磷化涂 MoS2等处理工艺,可广泛应用于汽车,轻纺,石油,化工,农机,煤矿,工程等机械以及工,模具等各种耐磨,
抗蚀、耐疲劳等零件。
第七章 材料复合表面处理技术
19
化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍将氮碳共渗和化学镀镍两种工艺进行复合，则形成了一种低温渗镀复合强化新技术。经渗镀复合强化的零件，其有效硬化层深度增加，表面硬度比单一的共渗层高；因表面化合物层疏松所造成的硬度和耐蚀性下降得到了改善和提高；由于低于相变温度处理，零件变形很小。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍零件有效硬化层深度增加提高了对载荷和冲击的承受能力。对低温渗镀复合强化进行试验研究表明：渗镀层分布均匀，镀层与渗层结合良好，化合物层＋扩散层＋镀层的厚度达 0.35～ 0.45mm，表面显微硬度达 750HV
左右。经渗镀复合强化的零件，有效硬化层深度比单一的氮碳共渗增加近一倍，表面硬度也比共渗表层高 200HV左右。
第七章 材料复合表面处理技术
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化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍共渗后镀镍磷，通过活化和镍磷原子填入，大大降低了化合物疏松程度对表面质量的影响。盐雾试验表明，渗镀复合强化后的零件表面耐蚀性优于单一的氮碳共渗。
生产应用表明：对于要尺寸精度高、表面耐磨的钢铁零件，采用渗镀复合处理，解决了零件变形问题，同时又增加了表面度和耐磨性，提高了使用性能。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.1 化学热处理＋薄膜复合工艺
4,氮碳共渗＋化学镀镍对要求尺寸精度高、表面耐磨的钢铁零件，采用渗镀复合强化处理，解决了零件变形问题，同时又增加了表面硬度和耐磨性，
提高了使用寿命，已经在生产上获得了应用。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺它主要是满足材料更高的耐腐蚀性和特殊工艺的要求。
PVD和 CVD沉积层硬度高，耐磨性好，一般正电位也较高，十分耐蚀。由于这类沉积层通常仅几个微米厚，不足以覆盖基体表面的粗糙度和其他一些缺陷，从而存在腐蚀的隐患，最终导致局部腐蚀。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺另外，由于沉积层定向生长、形成的纤维状沉积层结构所产生的晶界增大了电解液向内的扩散速度，也使材料的整体耐蚀性下降。若要增加超硬沉积层厚度，形成致密无缺陷的表面，就目前 PVD,CVD技术而言还难以实现，况且也不经济。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺相比之下，电镀技术却具有很高的沉积速率，易于形成厚而平整的耐蚀沉积层，只是无法达到 PVD,CVD沉积层那么高的硬度和耐磨性。因此，将二者结合起来能满足材料某些特殊的耐磨性和耐蚀性要求。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺相比之下，电镀技术却具有很高的沉积速率，易于形成厚而平整的耐蚀沉积层，只是无法达到 PVD,CVD沉积层那么高的硬度和耐磨性。因此，将二者结合起来能满足材料某些特殊的耐磨性和耐蚀性要求。
复合处理层的耐腐蚀性明显高于单一电镀镍层（它在相当小的腐蚀电流下就出现钝化现象）。由于复合处理层与沉积金属之间有较好的相容性，因而它的摩擦学性能十分理想。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺由于 PVD沉积层的颜色可以从金黄色到黑色逐渐变化（主要是 Ⅳ B～ Ⅵ B元素的氮化物、碳化物或碳氮化物），电镀与之结合可以用于耐蚀性和耐磨性要求极高的装饰性表面。电镀镍＋镀铬，再经 PVD沉积能消除镀铬层网状裂纹对镀层光泽的不良影响，成为一种较为经济的装饰镀工艺。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
1,电镀＋薄膜复合工艺薄膜技术原则上可以沉积任何物质。因此，它可以在一些难以电镀或无法电镀的材料上沉积表面保护层，如在某些塑料表面沉积金属膜，实现塑料金属化，也可沉积 W、
Ti,TiN等膜层。然而，由于薄膜的沉积速率不高，实现金属化后需再电镀使涂层增厚，
故这一复合处理技术已成为难镀材料表面处理的一种手段。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺这种处理的主要目的是形成新的化合物结构,提高工艺效果,改善摩擦学性能及耐蚀性能。
现在,对这类复合工艺的研究多集中在镀铬层的化学热处理方面 。 镀铬层硬度高,用量大,涉及面广,先前的研究方法主要是对镀铬层进行液体氮化处理,继而对镀层进行辉光离子氮化处理,最后再进行离子碳氮共渗处理 。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺用弥散镀铬方法制取含有活性碳的弥散镀铬层后，进行离子碳氮共渗复合处理，生成具有特殊界面及硬度高、耐磨性好的表面，
也是一种有发展前景的新型表面强化技术。
研究表明，复合处理的表层硬度比镀铬、
离子氮化、离子氮碳共渗都高；
第七章 材料复合表面处理技术
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7.2 镀覆与其它表面技术复合工艺
2,电镀 +化学热处理复合工艺弥散镀铬后离子氮碳共渗所生成的表层还具有较高的红硬性,400℃ 时高温显微硬度为 7000M P a,而普通硬铬层仅为
4000MPa；复合处理的表层耐磨性和边界润 滑 条 件 下 的 抗擦伤负荷也有明显提高。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理等离子喷涂得到的覆盖层（涂层）的物理
－机械性能虽然高于其它喷涂方法，但却远低于堆焊所得到的机械性能。为了改善涂层的性质，将喷涂工艺与涂层的重熔处理相结合是一种十分有效的复合表面处理工艺。
涂层的重熔可以用等离子射流或激光束进行，这样既保证了局部加热，又不影响整个零件的处理。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理在涂层重熔时,熔化的一般只是其合金中最易熔化的成分,由于液相有助于扩散过程,熔化的结果大大提高了涂层和基体的结合强度，消除了孔隙，增加了机械强度。
例如,45钢基体上镍基合金重熔涂层的显微硬度可高达淬火硬度的 5～ 10倍，因而耐磨性得以显著提高。重熔后涂层和基体表面的结合强度可提高 8～ 10倍；由于涂层的硬度提高，其疲劳强度提高 20～ 25%。
第七章 材料复合表面处理技术
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7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
1,等离子喷涂＋重熔处理这种工艺可以用来修复在大交变载荷和接触应力条件下工作的零件，如凸轮轴、曲轴等。
2,热喷涂＋氮化热喷涂可使材料薄膜具有耐磨性,抗蚀性,隔热性,导电及绝缘性等多种性能；但热喷涂会产生各向异性,微观疏松等缺陷,
在较硬材料上喷涂时涂层结合力比较弱。
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7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
2,热喷涂＋氮化国外学者对热喷涂涂层进行了离子氮化和气体氮化复合处理，在克服热喷涂涂层的上述缺陷方面取得了一定的进展。
研究表明：如果热喷涂涂层中包含足够量的溶解氮的元素 （ 如 Fe,Cr）,则热喷涂＋
氮化工艺是完全可行的,而且会形成氮化物 。 复合处理后的硬度比单一热喷涂有所提高。
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7.3 热喷涂与其它表面技术的复合工艺
2,热喷涂＋氮化若采用热喷涂＋气体氮化复合工艺，则喷涂层和层下基体都会产生氮化效果，从而使硬度分布更为平缓，不仅提高了喷涂层和基体的结合力，而且可以显著的改善耐磨性。
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7.4 多层薄膜复合工艺多层膜复合工艺是利用镀覆和气相沉积等技术在材料表面形成多层薄膜的方法。
大量研究表明，多层涂层能满足多种性能要求，这是因为其具有如下优点：
（ 1）可获得各个不同材料单层特性的综合特性；
（ 2）与底村更牢固地粘结；
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7.4 多层薄膜复合工艺
（ 3） 多层涂层中多个平行于底村表面的界面可有效地拟制裂纹的产生和扩展,从而提高涂层的硬度和韧性,并获得适当的硬度／韧性比和残余应力；
（ 4） 可获得高致密度的厚 （ ＞ 10μm） 涂层,满足切削刀具,磨粒磨损和冲蚀磨损等工况下的使用要求； （ 5） 多层膜具有,应力阻挡,作用,可降低表面与次表面的最大应力，从而具有较高的承载能力。
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7.4 多层薄膜复合工艺目前，部分多层涂层产品已获得成功应用，如以 TiN为外层，由 TiN,TiCN和 Al2O3
交替组成的 8层涂层及由 Al2O3/TiC/ TiN组成的 3层涂层都在不同切削工况下获得了成功应用并已实现了商品化。但针对多层膜的基础研究仍处于初级阶段。
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7.4 多层薄膜复合工艺不同性能单层材料的排列组合种类繁多,
关于软一硬,硬一硬交替及不同重叠周期
（ 单层厚度及周期 ） 的多层涂层都有报导,
但还未形成公认的理论和设计指南。
不过,目前在以下几方面已取得了共识：
（ 1） 一般多层膜均具有比单层膜更好的物理力学和摩擦学性能,而且其效果远远超过了
Koehler多层强化模型所预料的效果；
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7.4 多层薄膜复合工艺
（ 2） 按照 Koehler模型,在多层强化涂层中,较少层数的均质和非均质结构单层组成的多层涂层比层数很多的超晶格 （ 超模量 ）
多层涂层具有更优异的摩擦学特性,换言之在性能,组分和结构上具有梯度特征的多层体系具有更优异的摩擦学特性； （ 3） 最外层,涂层总厚度及层数主要取决于工况条件。
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7.4 多层薄膜复合工艺作为一种新型的表面处理技术,表面复合处理技术建立在许多新老表面技术基础之上,是多学科交叉的技术,涉及到界面理论和非平衡表面相变动力学等复杂问题,它综合了单一表面处理技术的优点和功能,其应用领域较广。
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7.4 多层薄膜复合工艺目前，试验研究多，理论探讨少，但表面复合技术在工程方面的应用已经起步，如装饰性手柄 Ni＋ PdNi＋ TiN复合涂层,Cr12轴瓦冲压模的 Cr弥散层离子碳氮共渗复合处理和塑料板复合镀铜工艺等都已经取得较好的效果，若要推广应用，尚需进一步解决工艺材料的适应性、可操作性及经济性等方面问题。
第七章 材料复合表面处理技术
