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智能传感器与传感系统
的发展及应用
河北科技大学 信息科学与工程学院
电子信息工程系
沙占友
2003-3-8
课件 1
2
智能传感器与传感器系统
的发展及应用
? 0 引言
? 1 智能传感器的定义及功能
? 2 智能传感器与传感系统的特点
? 3 智能传感器与传感系统的发展及应用
? 4 结语
3
0 引言
传感器是构建现代信息系统的重要组成部分。
现代信息技术的三大支柱,
1,传感器技术（信息采集） ——“感官,
2,通信技术（信息传输） ——“神经,
3,计算机技术（信息处理） ——“大脑,
4
目前, 传感器正从传统的分立式, 朝着 单片集成化, 智
能化, 网络化, 系统化 的方向发展 。
据 光电行业开发协会 （ OIDA） 作出的最新预测,
在 2003年～ 2006年期间, 智能传感器的国际市场销售量将
以每年 20％ 的高速度增长 。
智能传感器可广泛用于 工业、农业、商业、交通、环境
监测、医疗卫生、军事科研、航空航天、现代办公设备和
家用电器 等领域。
5
1 智能传感器的定义及功能
1.1 智能传感器的定义
目前, 关于智能传感器的中, 英文称谓尚未完全
统一 。 英 国 人 将 智 能 传 感 器 称 为, Intelligent
Sensor” ；美国人则习惯于把智能传感器称作
,Smart Sensor”,直译就是, 灵巧的, 聪明的传感
器, 。
所谓 智能传感器,就是 带微处理器、兼有信息
检测和信息处理功能的传感器 。
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智能传感器的最大特点就是将传感器检测信息的
功能与微处理器的信息处理功能有机地融合在一起 。
从一定意义上讲, 它具有类似于 人工智能 的作用 。
需要指出, 这里讲的, 带微处理器, 包含两种情
况,
（ 1） 将传感器与微处理器集成在一个芯片上构成
所谓的, 单片智能传感器,
（ 2） 传感器能够 配微处理器 。
显然，后者的定义范围更宽，但二者均属于智能
传感器的范畴。
7
世界上第一个智能传感器是 美国霍尼韦尔
（ Honeywell）公司在 1983年开发的 ST3000系
列智能压力传感器。它具有的多参数传感 (差
压、静压和温度 )与智能化的信号调理功能 。
最近，该公司还相继开发出 ST3000－
900/2000等系列的新产品，使之功能进一步
完善。目前,ST3000系列智能压力传感器在
全世界的销量已突破 50万只，深受广大用户
的青睐。
8
1.2 智能传感器的功能
（ 1）具有 自校准 和 自诊断 功能。智能传感器不
仅能自动检测各种被测参数，还能进行自动调零、
自动调平衡、自动校准，某些智能传感器还能 自标
定 功能。
9
（ 2）具有数据存储、逻辑判断和信息处理
功能，能对被测量进行 信号调理或信号处理
（包括对信号进行预处理、线性化，或对温度、
静压力等参数进行自动补偿等）。
10
（ 3）具有 组态功能,使用灵活。在智能
传感器系统中可设置多种模块化的硬件和
软件，用户可通过微处理器发出指令，改
变智能传感器的硬件模块和软件模块的组
合状态，完成不同的测量功能。
11
（ 4）具有双向通信功能，能直接与微处理
器（ μP）或单片机（ μC ）通信。
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2 智能传感器与传感系统的特点
2.1 高精度
智能传感器采用 自调零, 自补偿, 自校准
等多项新技术, 能达到高精度指标 。
美国 BB（ BURR－ BROWN）公司,XTR
系列精密电流变送器,转换精度 ± 0.05％，
非线性误差 ± 0.003％。
13
美国霍尼韦尔（ Honeywell）公司,PPT、
PPTR系列智能精密压力传感器,测量精度
为 ± 0.05％，比传统压力传感器的精度大
约提高了一个数量级。其外形如图 1所示。
14
（ a） PPT系列 （ b） PPTR系列
图 1 外形图
15
PPT,PPTR系列智能压力传感器的内部电
路框图如图 2所示 。
图 2 PPT,PPTR系列智能压力传感器的内部电路框图
16
2.2 宽量程
智能传感器的测量范围很宽, 并具有很强的过载
能力 。
例如, 美国 ADI公司,ADXRS300型单片偏航角
速度陀螺仪集成电路
测量转动物体的偏航角速度的范围是 ± 300° /s。
只需并联一只设定电阻, 即可将测量范围扩展到
1200 ° /s。
17
2.3 多参数, 多功能测量
（ 1） 多路智能温度控制器
Pentium 4处理器 是 Intel公司推出的高性能微处理器
。最高主频目前已达 3.06GHz，它采用了 0.13μm制程
，集成度高达 5500万～ 7700万只晶体管，在芯片中还
有 内置数字温度传感器 。
其芯片结构如图 3所示。
18
图 3 Pentium 4处理器芯片的结构
19
随着 Pentium 4处理器运行速度的大幅度提高, 其功
耗也显著增加, 必须采取更完善的散热保护措施 。
2002年，美国 ADI公司专门开发出适配 Pentium 4处
理器的 ADT7460型智能化远程散热风扇控制器集成电
路，并已用于奔腾 4计算机产品中。
ADT7460采用了 dBCOOLTM专有技术 。
20
奔腾 4计算机 的散热控制电路如图 4所示 。 该计算机中
共使用了 3台散热风扇 。 其中, 风扇 1专门给 CPU散热, 风
扇 2和风扇 3分别安装在主机箱的前面和后面给机箱散热 。
图 4 计算机的散热控制电路
21
（ 2） 多功能式湿度／温度／露点智能传感器系统
瑞士 Sensirion公司,SHT11/15型高精度, 自校准
,多功能式智能传感器 。
能同时测量 相对湿度, 温度 和 露点 等参数；
兼有 数字湿度计, 温度计 和 露点计 这 3种仪表的
功能；
可广泛用于工农业生产、环境监测、医疗仪器
、通风及空调设备等领域。
22
SHT11/15型智能传感器系统, 外形尺寸仅为 7.62mm
（ 长 ） × 5.08mm（ 宽 ） × 2.5mm（ 高 ）, 质量只有
0.1g,其体积与一个大火柴头相近, 见图 5。
图 5 SHT11/15型智能传感器的外形
23
（ 1） 瑞士 Sensirion公司,
将半导体芯片（ CMOS）与传感器技术融合
的 CMOSens?技术 。
该项技术亦称,Sensmitter”，它表示 传感器
（ sensor）与 变送器 （ transmitter）的有机结合
。
24
SHT11/15的引脚排列如图 6所示 。
（ a）俯视图；（ b）侧视图
图 6 SHT11/15的引脚排列图
25
SHT11/15型湿度／温度传感器系统的内部框图如图 7
所示 。
图 7 SHT11/15型湿度／温度传感器的内部电路框图
26
相对湿度, （ 空气中所含压强与该温度
下饱和水蒸气的压强之比, 通常用百分数表示 ）
测量范围,0％ ～ 99.99％ RH；
测量精度,± 2％ RH
分辨力,0.01％ RH
27
温度,
测量范围,－ 40℃ ～＋ 123.8℃
测量精度,± 1℃
分辨力,0.01℃
露点, （ 在水气冷却过程中最初发生
结露的温度 ）
测量精度,＜ ± 1℃
分辨力为,± 0.01℃
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由 SHT15构成的 相对湿度／温度测试系统的电路框
图 如图 8所示。该系统能测量并显示出相对湿度、温度
和露点。 SHT15作为从机,89C51单片机作为主机，二
者通过串行总线进行通信。
图 8 相对湿度／温度测试系统的电路框图
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（ 3） 多功能式 混浊度 /电导 /温度 智能传感器
系统
混浊度（亦称不透明度）：表示水或其他液体的不
透明程度。
30
当单色光通过含有悬浮粒子的液体时, 由于
悬浮粒子引起光的散射, 使单色光的强度被衰
减, 其衰减量就代表液体的 混浊度 。 混浊度是
个 比值, 其单位用 NTU来表示 。
31
美国霍尼韦尔 （ Honeywell） 公司,APMS－
10G型带微处理器和单线接口的 智能化混浊度传感器
系统
能同时测量液体的 混浊度, 电导和温度, 构成
多参数在线检测系统
可广泛用于水质净化，清洗设备及化工、食品
、医疗卫生等部门。
32
APMS－ 10GRCF的外形及插座上的引脚排列如图 9
所示 。
（ a）外形；（ b）插座引脚
图 9 APMS－ 10GRCF的外形及插座上的引脚排列图
33
APMS－ 10G的内部框图如图 10所示 。
图 10 APMS－ 10G的内部框图
34
混浊度测量原理（图 11）
35
APMS－ 10G通过 9脚 RS－ 232插座连计算机, 接线方
式如图 12所示 。
图 12 APMS－ 10G与计算机的接线
36
2.4 自适应 （ Self-adaptive） 能力强
US0012是一种基于数字信号处理器（
DSP）和模糊逻辑技术（ FLT）的高性能 智能
化超声波干扰探测器 集成电路，对温度环境
等自然条件具有自适应能力。
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2.6 自校准和自标定
Motorola公司 烟雾检测报警 IC主要有三
种类型,
离子型, MC14467－ 1,MC14468
光电型, MC145010,MC145011
比较器型, MC14578
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MC145010配上 红外光电室, 即可通过传感微小烟
雾颗粒的散热光束来检测烟雾 。 其基本工作原理是,
,红外发射二极管 → 红外光 → 在烟雾颗粒的作用下
形成散射光束 → 红外接收二极管 → MC145010→BZ 发
出报警声”。
39
（ 1） 自校准
将 MC145010置于校准模式。在该模式下，
某些引脚的功能将被重新设定。为进入校准模
式，需要给 TEST端加负电压，使该端的输出
电流为 100μA并保持一个时钟周期的时间。
40
（ 2） 自标定
利用 自检模式 可以模拟烟雾条件，对传感器
进行自标定。
41
具体方法是显著 提高光信号放大器的增益,
将烟雾室中的背景反射光看成是由烟雾产生的
散射光, 从而获得 模拟的烟雾条件 。
经过一个时钟周期后，光信号放大器的增益
恢复正常值，模拟的烟雾条件就被撤销。
42
2.6 生物传感器
生物识别技术是人体生物特征进行身份鉴
别的技术。要求这些特征具有,人各有异”
、“终身不变”和“随身携带” 这三大特点
。
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生物识别系统 的组成如图 13所示 。
图 13 生物识别系统的组成
44
● 指纹具有惟一性（ 随身携带、无法复制、人
人不同、指指相异 ）。
●根据指纹学理论，将两个指纹分别匹配上 12
个特征时的相同几率仅为 1/1050。因此，至今找不
出两个指纹完全相同的人,
●即使相貌酷似的孪生兄弟姐妹，或同一个人
的十指之间，指纹也存在明显差异。
●指纹的这一特点，为身份鉴定提供了客观依
据。
45
指纹图像的获取
取像设备主要有以下 4种类型,
▲ 光学 取像设备 （ 例如微型三棱镜矩阵 ）
▲ 压电式 指纹传感器
▲ 半导体 指纹传感器
▲ 超声波 指纹扫描仪。
46
表 1 几种取像设备的性能比较
取像设备 光学取像设备 半导体指纹传感器 超声波扫描
体积 大 小，外形尺寸比手指略大 中
耐用性 非常耐用 耐磨损性超过 100万次 一般
成像能力
对汗多或稍脏的手指
成像模糊
手指上有汗渍或污垢时
不能成像 非常好
功耗 高 低 高
成本 高 低 很高
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指纹的基本纹路图案：基本纹路图案有 环形, 弓
形 和 螺旋形, 如图 14所示 。 其他指纹图案都是基于这
三种基本图案衍生而成的 。
（ a）环型；（ b）弓型；（ c）螺旋型
图 14 3种基本纹路图案
48
指纹识别过程,
指纹采样 → 指纹图像预处理 → 二值化处理 → 细化,
纹路提取 → 细节特征提取 → 指纹匹配 （ 即指纹库的查
对 ） 。 如图 15所示 。
图 15 指纹识别过程
49
半导体指纹传感器
半导体指纹传感器亦称 单片集成指纹传感器 或
CMOS固态指纹传感器, 它是在 20世纪 90年代末问世
的 。
指纹传感器，可广泛用于便携式指纹识别仪，网
络、数据库及工作站的保护装置，自动柜员机（
ATM）、智能卡、手机、计算机、门禁系统等身份
识别器，还可构成宾馆、家庭的门锁识别系统。
50
（ 1） 温差感应式指纹传感器
它是基于 温度感应 的原理而制成的, 每个像素都相
当于一个微型化的电荷传感器, 用来感应手指与芯片
映像区域之间某点的 温度差, 产生一个代表图像信息
的电信号 。
典型产品：美国 Atmel公司的 FCD4B14 。
可在 0.1s内获取指纹图像（时间一长，手指和芯片
就处于相同的温度了） 。
51
FCD4B14的外形, 引脚和安装图分别如图 16,图 17、
图 18所示 。
（ a） DIP－ 20陶瓷封装；（ b） COB封装
图 16 FCD4B14的外形图
52
（ a）表面倾斜式；（ b）将传感器装在靠边缘处
图 17 FCD4B14的引脚图
53
（ a）表面倾斜式；（ b）将传感器装在靠边缘处
图 18 FCD4B14的安装图
54
FCD4B14型指纹传感器的内部电路框图如图 18所示 。
图 19 FCD4B14的内部电路框图
55
传感器共有 8行 280列, 包含 8× 280＝ 2240个
像素, 另有一个虚列 。
基本工作原理,行、列扫描 → 指纹的模拟图
像 → 经过两个 ADC转换成数字图像 → 通过 8位
锁存器输出到微处理器或计算机中。
56
（ 2） 电容感应式指纹传感器
由电容阵列构成
内部包含 9万只微型化电容器
基本工作原理,当用户将手指放在正面时，皮肤
就组成了电容阵列的一个极板，电容阵列的背面
是绝缘极板。由于不同区域指纹的脊和谷之间的
距离也不相等，使每个单元的电容量随之而变，
由此可获得指纹图像。
57
典型产品：美国 Veridicom公司 FPS100
FPS100的外形以及由它构成的指纹识别系统输入
设备如图 20所示, 输入设备与计算机相连 。
（ a） FPS100的外形；（ b）指纹识别系统的输入设备
图 20 FPS100的外形以及指纹识别系统的输入设备
58
美国 Veridicom公司,
● 图像搜索技术 （ ImageSeekTM
）
● 高速图像传输技术
● 手指自动检测技术 。
59
FPS100的内部框图如图 21所示 。
图 21 FPS100的内部框图
60
2.7 超小型化, 微型化, 微功耗
智能传感器正朝着 短、小、轻、薄 的方向发
展，以满足航空、航天及国防尖端技术领域的
急需，并且为开发便携式、袖珍式检测系统创
造了有利条件。
61
ADXRS300型 单片偏航角速度陀螺仪 集成电路
基于“音叉陀螺仪”（ tuning fork gyro）的原理，
采用表面显微机械加工工艺和 Bi－ CMOS半导体
工艺而制成的。
62
基本工作原理,在科里奥利力的作用下，角速度
传感器的转动方向不变，而旋转方向可以是顺时针，
也可以是逆时针，由转动物体而定。 ADXRS300通
过电容对偏航角速度进行采样,再依次经过能产生
180○ 相移的 π型解调器、低通滤波器和输出放大器对
信号进行调理，最终获得与 Z轴方向的角速度成正比
的电压信号。
63
其工作原理示意图如图 22所示 。
图 22 角速度传感器工作原理示意图
64
ADXRS300的内部电路框图如图 23所示 。
图 23 ADXRS300的内部电路框图
65
3 智能传感器与传感系统的发展及应用
● 单片集成化
● 网络化
● 智能微尘传感器
● 系统化, 高精度
● 多功能
● 高可靠性
● 安全性
66
3.1 采用 新技术 提高智能化程度
微电子技术和计算机技术的进步，往往预示
着智能传感器研制水平的新突破。近年来各项
新技术不断涌现并被采用，使之迅速转化为生
产力。
67
US0012型智能化超声波干扰探测器集成电路中采
用了, 模糊逻辑技术,
☆ 它兼有 干扰探测, 干扰识别和干扰报警 这三大功
能
☆ 将超声波探测标准 固化 到芯片中
☆能自动区分 弱干扰、强干扰、阻断 （因超声波传
感器引线开路而导致信号被阻断）,饱和 （因回波信
号过强而使接收器进入饱和状态），并发出相应的报
警信号。
68
3.2 智能微尘传感器
智能微尘 （ Smart Micro Dust）是一种具有电脑功
能的 超微型传感器 。从肉眼看来，它和一颗沙粒没有
多大区别。但内部却包含了从信息收集、信息处理到
信息发送所必需的全部部件。
69
目前，直径约为 5mm的智能微尘已经问世，智能微
尘的外形及内部结构如图 24所示。未来的智能微尘甚
至可以悬浮在空中几个小时，搜集、处理并无线发射
信息。
a）肉眼所看到的智能微尘 b）智能微尘的内部结构
图 24 智能微尘的外形及内部结构
70
智能微尘还可以, 永久, 使用,因为它不仅自带微
型薄膜电池，还有一个微型的太阳能电池为它充电。
最近，美国英特尔公司制定了 基于微型传感器网络的
新型计算机的发展规划,也将致力于研究智能微尘传
感器网络的工作。
71
智能微尘的应用范围很广，最主要的是军
事侦察监视网络、森林灭火、至海底板块调
查、行星探查、医学、生活等领域。
72
3.3 总线技术的标准化与规范化
智能传感器的总线技术现正逐步实现标准化
、规范化。
目前所采用的总线主要有以下六种,
★１－ Wire 总线
★ I2C总线
★ SMBus
★ SPI总线
★ Micro Wire总线
★ USB总线
73
◆ USB是,通用串行总线,（ Universal Serial Bus）
的英文缩写。
USB是由 Compaq,IBM,Intel、微软等公司于 1994
年共同提出的。
USB接口的优点,
● 连接单一化
● 软件自动“侦测”
● 热插拔
74
MatchBoard开发板的电路框图如图 25所示。
图 25 MatchBoard开发板的电路框图
75
（ 1） USB接口
USB是, 通用串行总线, （ Universal Serial
Bus）的英文缩写。 USB是由 Compaq,IBM、
Intel、微软等公司于 1994年共同提出的。 USB接
口具有 连接单一化、软件自动, 侦测,,能直
接配 PC机、能实现热插拔 的优点。
目前,USB1.0的传输速率为 12Mpbs，而
USB2.0的传输速率最高可达 480Mpbs。这是其
它总线所无法达到的。
76
（ 2） SPI总线接口
MAX1457属于高精度 （ 0.1％ ） 硅压阻式压
力信号调理器芯片 。
由 n个压力测量模块与微机、数字电压表可
构成基于 SPI总线的高精度压力测试系统。
77
电路如图 26所示 。
图 26 基于 SPI总线的高精度压力测试系统的电路
78
（ 3） 基于 HART协议 的测试系统
问题的提出,目前智能传感器都是数字式的
，而在工业测试现场仍大量使用 4～ 20mA模拟
输出 的系统（包括传感器、变送器及二次仪表
等）。
79
为了解决这一技术难题, 美国罗斯蒙特 （ Rosemount）
公司提出了 HART协议 （ Highway Addressable Remote
Transducer Protocol,可寻址远程传感器通信协议 ） 作
为过渡性标准 。
该通信协议具有与现场总线相类似的体系结构以及
总线式数字通信功能。
80
HART协议是 在模拟信号上叠加了 FSK（频
移键控）数字信号,因此可同时进行模拟通信
和数字通信。这就保证了 4～ 20mA模拟系统与
数字通信系统兼容，能在一条双绞线上连接多
台现场设备，构成多站网络，使不同厂家的产
品互相通用。
81
HART协议采用“频移键控”（ FSK）技术。频移键控是
频率调制的一种方法，调制信号只能在几个不同的固定频率
之间变动，典型的例子是用二进制信号进行调频，用一个频
率表示数据,1”，另一频率表示,0”。 HART协议是在 4mA～
20mA的模拟信号上叠加不同的频率信号，来代表所要传输或
接收的数据。
根据 Bell202标准，在 HART协议信号波形中，数字信号分
别用 1200Hz代表逻辑,1”,2200Hz代表逻辑,0”，信号传输
速率为 1200bit/s，数字频率信号的电流幅值为 ± 0.5mA。由于
在一个周期内数字频率信号的平均值为零，因此不会对
4mA～ 20mA的模拟信号产生影响，这是 HART协议最重要的
特点之一。
82
图 27 HART协议的信号波形
83
它既保留了 4mA～ 20mA过程控制信号的工
业标准，又能在一条双绞线上同时传输模拟信
号和数字信号而互不影响，从而保证了 4mA～
20mA模拟系统与数字通信系统兼容性 。在双绞
线上可连接多台现场设备，构成多站网络，使
不同厂家的产品互相通用。
84
目前，许多国际上著名的公司已接受了
HART协议，还成立了专门机构来 推广 HART
协议 。
最近，我国也发布了,国产符合 HART协议
智能仪表管理办法,并开始实行。
因此,HART协议已被认为是事实上的工业
标准，但它仍属过渡性协议，还不能称作现场
总线。
85
3.4 虚拟传感器和网络传感器
（ 1） 虚拟传感器
虚拟传感器是 基于软件 开发而成的智能传感器。
它是在硬件的基础上通过软件来实现测试功能的，利
用软件还可完成传感器的校准及标定，使之达到最佳
性能指标。
86
◆ MAXIM公司不仅研制出高精度硅压阻
式压力信号调理器芯片 MAX1457，还专门给
用户提供一套工具软件（ EV Kit）和通信软
件。
87
◆ Sensirion公司专门为 SHT15型湿度／温
度传感器提供测量露点用的 SHT1xdp.bsx软件。
88
◆ Atmel公司和 Veridicom公司都向用户提
供开发指纹传感器的应用程序，例如在
InstaMatchTM软件包 中就包含着指纹识别算
法。
89
（ 2） 网络传感器
智能传感器的另一发展方向就是网络传感
器 。
网络传感器是包含 数字传感器、网络接口
和处理单元 的新一代智能传感器。
90
被测模拟量 → 数字传感器 → 数字量 → 微处理
器 → 测量结果 → 网络 。
可实现各传感器之间、传感器与执行器之间、
传感器与系统之间的数据交换及资源共享，在
更换传感器时无须进行标定和校准，可做到“
即插即用,。
91
美国 Honeywell公司开发的 PPT系列,PPTR系列
和 PPTE系列 智能精密压力传感器就属于网络传感器。
在构成网络时，能确定每个传感器的 全局地址、
组地址和设备识别号 （ ID）地址。用户通过网络就能
获取任何一只传感器的数据并对该传感器的参数进行
设置。
92
a) RS－ 232环形网络
具有 6个 PPT单元的 RS－ 232环形网络如图 28所示 。
RS－ 232环形网络的起点和终点都在主机的 TXD、
RXD和 GND接口线上 。 其特点是网络接口可接多台
PC机的串行接口 。
图 28 具有 6个 PPT单元的 RS－ 232环形网络
93
b) RS－ 485多点网络
具有 6个 PPT单元的 RS－ 485多点网络如图 29所示 。
在该网络中, 各 PPT单元的 ID地址可以不按照顺序排
列 。
图 29 具有 6个 PPT单元的 RS－ 485多点网络
94
由中科院上海技术物理研究所研制的激光高度计，
2004年 3月 1日在北京通过了初样评审。它将随中国第
一颗探月卫星亲历绕月旅行，用三维影像再现月球表面
原始风貌，为下一步宇航员登月选择最佳着陆点。
激光高度计由激光器、激光望远镜和接收电路组装
首先，由激光器向月球表面发射激光束；只需一瞬间，
被月球弹回的光信号, 嗖, 地一下钻进激光望远镜，变
成电信号；接着，接收电路盒将迅速进行精确计算，用
最短时间得出该探测点的月球海拔高度。当激光高度计
完成绕月旅行，月球表面每个探测点的海拔高度在, 摄
影师, 心中已是一目了然。这些数值一旦与其它照相机
拍摄的平面图像相叠加，就是一幅完整而精确的月球表
面三维地形图。
95
96
4 结语
智能传感器是 信息时代的骄子,它正
成为推动信息产业发展的 强大动力 。智能传
感器在电子信息工程领域具有特殊重要的意
义，需要我们继续深入地研究、开发和推广
应用。
97
主要参考文献
1,Honeywell公司,Humirel公司,Mierosemi公司、
Agilent公司,Atmel公司,Veridicom公司,ADI公司、
NSC公司,Telcom公司,Philips公司,MAXIM公司、
DALLAS公司,ST公司,Motorola公司,Sensirion公司、
HOLTEK公司,Rosemount公司,Infineon公司,Murata
Manufactuaring Co.,Lta公司产品资料,2000～ 2003
2,沙占友主编,,集成化智能传感器原理与应用,,
电子工业出版社,2004.1
3,沙占友主编,,新编实用数字化测量技术,,第一
作者，国防工业出版社,1998.1
98
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智能传感器与传感系统
的发展及应用
河北科技大学 信息科学与工程学院
电子信息工程系
沙占友
2003-3-8
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智能传感器与传感器系统
的发展及应用
? 0 引言
? 1 智能传感器的定义及功能
? 2 智能传感器与传感系统的特点
? 3 智能传感器与传感系统的发展及应用
? 4 结语
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传感器是构建现代信息系统的重要组成部分。
现代信息技术的三大支柱,
1,传感器技术（信息采集） ——“感官,
2,通信技术（信息传输） ——“神经,
3,计算机技术（信息处理） ——“大脑,
4
目前, 传感器正从传统的分立式, 朝着 单片集成化, 智
能化, 网络化, 系统化 的方向发展 。
据 光电行业开发协会 （ OIDA） 作出的最新预测,
在 2003年～ 2006年期间, 智能传感器的国际市场销售量将
以每年 20％ 的高速度增长 。
智能传感器可广泛用于 工业、农业、商业、交通、环境
监测、医疗卫生、军事科研、航空航天、现代办公设备和
家用电器 等领域。
5
1 智能传感器的定义及功能
1.1 智能传感器的定义
目前, 关于智能传感器的中, 英文称谓尚未完全
统一 。 英 国 人 将 智 能 传 感 器 称 为, Intelligent
Sensor” ；美国人则习惯于把智能传感器称作
,Smart Sensor”,直译就是, 灵巧的, 聪明的传感
器, 。
所谓 智能传感器,就是 带微处理器、兼有信息
检测和信息处理功能的传感器 。
6
智能传感器的最大特点就是将传感器检测信息的
功能与微处理器的信息处理功能有机地融合在一起 。
从一定意义上讲, 它具有类似于 人工智能 的作用 。
需要指出, 这里讲的, 带微处理器, 包含两种情
况,
（ 1） 将传感器与微处理器集成在一个芯片上构成
所谓的, 单片智能传感器,
（ 2） 传感器能够 配微处理器 。
显然，后者的定义范围更宽，但二者均属于智能
传感器的范畴。
7
世界上第一个智能传感器是 美国霍尼韦尔
（ Honeywell）公司在 1983年开发的 ST3000系
列智能压力传感器。它具有的多参数传感 (差
压、静压和温度 )与智能化的信号调理功能 。
最近，该公司还相继开发出 ST3000－
900/2000等系列的新产品，使之功能进一步
完善。目前,ST3000系列智能压力传感器在
全世界的销量已突破 50万只，深受广大用户
的青睐。
8
1.2 智能传感器的功能
（ 1）具有 自校准 和 自诊断 功能。智能传感器不
仅能自动检测各种被测参数，还能进行自动调零、
自动调平衡、自动校准，某些智能传感器还能 自标
定 功能。
9
（ 2）具有数据存储、逻辑判断和信息处理
功能，能对被测量进行 信号调理或信号处理
（包括对信号进行预处理、线性化，或对温度、
静压力等参数进行自动补偿等）。
10
（ 3）具有 组态功能,使用灵活。在智能
传感器系统中可设置多种模块化的硬件和
软件，用户可通过微处理器发出指令，改
变智能传感器的硬件模块和软件模块的组
合状态，完成不同的测量功能。
11
（ 4）具有双向通信功能，能直接与微处理
器（ μP）或单片机（ μC ）通信。
12
2 智能传感器与传感系统的特点
2.1 高精度
智能传感器采用 自调零, 自补偿, 自校准
等多项新技术, 能达到高精度指标 。
美国 BB（ BURR－ BROWN）公司,XTR
系列精密电流变送器,转换精度 ± 0.05％，
非线性误差 ± 0.003％。
13
美国霍尼韦尔（ Honeywell）公司,PPT、
PPTR系列智能精密压力传感器,测量精度
为 ± 0.05％，比传统压力传感器的精度大
约提高了一个数量级。其外形如图 1所示。
14
（ a） PPT系列 （ b） PPTR系列
图 1 外形图
15
PPT,PPTR系列智能压力传感器的内部电
路框图如图 2所示 。
图 2 PPT,PPTR系列智能压力传感器的内部电路框图
16
2.2 宽量程
智能传感器的测量范围很宽, 并具有很强的过载
能力 。
例如, 美国 ADI公司,ADXRS300型单片偏航角
速度陀螺仪集成电路
测量转动物体的偏航角速度的范围是 ± 300° /s。
只需并联一只设定电阻, 即可将测量范围扩展到
1200 ° /s。
17
2.3 多参数, 多功能测量
（ 1） 多路智能温度控制器
Pentium 4处理器 是 Intel公司推出的高性能微处理器
。最高主频目前已达 3.06GHz，它采用了 0.13μm制程
，集成度高达 5500万～ 7700万只晶体管，在芯片中还
有 内置数字温度传感器 。
其芯片结构如图 3所示。
18
图 3 Pentium 4处理器芯片的结构
19
随着 Pentium 4处理器运行速度的大幅度提高, 其功
耗也显著增加, 必须采取更完善的散热保护措施 。
2002年，美国 ADI公司专门开发出适配 Pentium 4处
理器的 ADT7460型智能化远程散热风扇控制器集成电
路，并已用于奔腾 4计算机产品中。
ADT7460采用了 dBCOOLTM专有技术 。
20
奔腾 4计算机 的散热控制电路如图 4所示 。 该计算机中
共使用了 3台散热风扇 。 其中, 风扇 1专门给 CPU散热, 风
扇 2和风扇 3分别安装在主机箱的前面和后面给机箱散热 。
图 4 计算机的散热控制电路
21
（ 2） 多功能式湿度／温度／露点智能传感器系统
瑞士 Sensirion公司,SHT11/15型高精度, 自校准
,多功能式智能传感器 。
能同时测量 相对湿度, 温度 和 露点 等参数；
兼有 数字湿度计, 温度计 和 露点计 这 3种仪表的
功能；
可广泛用于工农业生产、环境监测、医疗仪器
、通风及空调设备等领域。
22
SHT11/15型智能传感器系统, 外形尺寸仅为 7.62mm
（ 长 ） × 5.08mm（ 宽 ） × 2.5mm（ 高 ）, 质量只有
0.1g,其体积与一个大火柴头相近, 见图 5。
图 5 SHT11/15型智能传感器的外形
23
（ 1） 瑞士 Sensirion公司,
将半导体芯片（ CMOS）与传感器技术融合
的 CMOSens?技术 。
该项技术亦称,Sensmitter”，它表示 传感器
（ sensor）与 变送器 （ transmitter）的有机结合
。
24
SHT11/15的引脚排列如图 6所示 。
（ a）俯视图；（ b）侧视图
图 6 SHT11/15的引脚排列图
25
SHT11/15型湿度／温度传感器系统的内部框图如图 7
所示 。
图 7 SHT11/15型湿度／温度传感器的内部电路框图
26
相对湿度, （ 空气中所含压强与该温度
下饱和水蒸气的压强之比, 通常用百分数表示 ）
测量范围,0％ ～ 99.99％ RH；
测量精度,± 2％ RH
分辨力,0.01％ RH
27
温度,
测量范围,－ 40℃ ～＋ 123.8℃
测量精度,± 1℃
分辨力,0.01℃
露点, （ 在水气冷却过程中最初发生
结露的温度 ）
测量精度,＜ ± 1℃
分辨力为,± 0.01℃
28
由 SHT15构成的 相对湿度／温度测试系统的电路框
图 如图 8所示。该系统能测量并显示出相对湿度、温度
和露点。 SHT15作为从机,89C51单片机作为主机，二
者通过串行总线进行通信。
图 8 相对湿度／温度测试系统的电路框图
29
（ 3） 多功能式 混浊度 /电导 /温度 智能传感器
系统
混浊度（亦称不透明度）：表示水或其他液体的不
透明程度。
30
当单色光通过含有悬浮粒子的液体时, 由于
悬浮粒子引起光的散射, 使单色光的强度被衰
减, 其衰减量就代表液体的 混浊度 。 混浊度是
个 比值, 其单位用 NTU来表示 。
31
美国霍尼韦尔 （ Honeywell） 公司,APMS－
10G型带微处理器和单线接口的 智能化混浊度传感器
系统
能同时测量液体的 混浊度, 电导和温度, 构成
多参数在线检测系统
可广泛用于水质净化，清洗设备及化工、食品
、医疗卫生等部门。
32
APMS－ 10GRCF的外形及插座上的引脚排列如图 9
所示 。
（ a）外形；（ b）插座引脚
图 9 APMS－ 10GRCF的外形及插座上的引脚排列图
33
APMS－ 10G的内部框图如图 10所示 。
图 10 APMS－ 10G的内部框图
34
混浊度测量原理（图 11）
35
APMS－ 10G通过 9脚 RS－ 232插座连计算机, 接线方
式如图 12所示 。
图 12 APMS－ 10G与计算机的接线
36
2.4 自适应 （ Self-adaptive） 能力强
US0012是一种基于数字信号处理器（
DSP）和模糊逻辑技术（ FLT）的高性能 智能
化超声波干扰探测器 集成电路，对温度环境
等自然条件具有自适应能力。
37
2.6 自校准和自标定
Motorola公司 烟雾检测报警 IC主要有三
种类型,
离子型, MC14467－ 1,MC14468
光电型, MC145010,MC145011
比较器型, MC14578
38
MC145010配上 红外光电室, 即可通过传感微小烟
雾颗粒的散热光束来检测烟雾 。 其基本工作原理是,
,红外发射二极管 → 红外光 → 在烟雾颗粒的作用下
形成散射光束 → 红外接收二极管 → MC145010→BZ 发
出报警声”。
39
（ 1） 自校准
将 MC145010置于校准模式。在该模式下，
某些引脚的功能将被重新设定。为进入校准模
式，需要给 TEST端加负电压，使该端的输出
电流为 100μA并保持一个时钟周期的时间。
40
（ 2） 自标定
利用 自检模式 可以模拟烟雾条件，对传感器
进行自标定。
41
具体方法是显著 提高光信号放大器的增益,
将烟雾室中的背景反射光看成是由烟雾产生的
散射光, 从而获得 模拟的烟雾条件 。
经过一个时钟周期后，光信号放大器的增益
恢复正常值，模拟的烟雾条件就被撤销。
42
2.6 生物传感器
生物识别技术是人体生物特征进行身份鉴
别的技术。要求这些特征具有,人各有异”
、“终身不变”和“随身携带” 这三大特点
。
43
生物识别系统 的组成如图 13所示 。
图 13 生物识别系统的组成
44
● 指纹具有惟一性（ 随身携带、无法复制、人
人不同、指指相异 ）。
●根据指纹学理论，将两个指纹分别匹配上 12
个特征时的相同几率仅为 1/1050。因此，至今找不
出两个指纹完全相同的人,
●即使相貌酷似的孪生兄弟姐妹，或同一个人
的十指之间，指纹也存在明显差异。
●指纹的这一特点，为身份鉴定提供了客观依
据。
45
指纹图像的获取
取像设备主要有以下 4种类型,
▲ 光学 取像设备 （ 例如微型三棱镜矩阵 ）
▲ 压电式 指纹传感器
▲ 半导体 指纹传感器
▲ 超声波 指纹扫描仪。
46
表 1 几种取像设备的性能比较
取像设备 光学取像设备 半导体指纹传感器 超声波扫描
体积 大 小，外形尺寸比手指略大 中
耐用性 非常耐用 耐磨损性超过 100万次 一般
成像能力
对汗多或稍脏的手指
成像模糊
手指上有汗渍或污垢时
不能成像 非常好
功耗 高 低 高
成本 高 低 很高
47
指纹的基本纹路图案：基本纹路图案有 环形, 弓
形 和 螺旋形, 如图 14所示 。 其他指纹图案都是基于这
三种基本图案衍生而成的 。
（ a）环型；（ b）弓型；（ c）螺旋型
图 14 3种基本纹路图案
48
指纹识别过程,
指纹采样 → 指纹图像预处理 → 二值化处理 → 细化,
纹路提取 → 细节特征提取 → 指纹匹配 （ 即指纹库的查
对 ） 。 如图 15所示 。
图 15 指纹识别过程
49
半导体指纹传感器
半导体指纹传感器亦称 单片集成指纹传感器 或
CMOS固态指纹传感器, 它是在 20世纪 90年代末问世
的 。
指纹传感器，可广泛用于便携式指纹识别仪，网
络、数据库及工作站的保护装置，自动柜员机（
ATM）、智能卡、手机、计算机、门禁系统等身份
识别器，还可构成宾馆、家庭的门锁识别系统。
50
（ 1） 温差感应式指纹传感器
它是基于 温度感应 的原理而制成的, 每个像素都相
当于一个微型化的电荷传感器, 用来感应手指与芯片
映像区域之间某点的 温度差, 产生一个代表图像信息
的电信号 。
典型产品：美国 Atmel公司的 FCD4B14 。
可在 0.1s内获取指纹图像（时间一长，手指和芯片
就处于相同的温度了） 。
51
FCD4B14的外形, 引脚和安装图分别如图 16,图 17、
图 18所示 。
（ a） DIP－ 20陶瓷封装；（ b） COB封装
图 16 FCD4B14的外形图
52
（ a）表面倾斜式；（ b）将传感器装在靠边缘处
图 17 FCD4B14的引脚图
53
（ a）表面倾斜式；（ b）将传感器装在靠边缘处
图 18 FCD4B14的安装图
54
FCD4B14型指纹传感器的内部电路框图如图 18所示 。
图 19 FCD4B14的内部电路框图
55
传感器共有 8行 280列, 包含 8× 280＝ 2240个
像素, 另有一个虚列 。
基本工作原理,行、列扫描 → 指纹的模拟图
像 → 经过两个 ADC转换成数字图像 → 通过 8位
锁存器输出到微处理器或计算机中。
56
（ 2） 电容感应式指纹传感器
由电容阵列构成
内部包含 9万只微型化电容器
基本工作原理,当用户将手指放在正面时，皮肤
就组成了电容阵列的一个极板，电容阵列的背面
是绝缘极板。由于不同区域指纹的脊和谷之间的
距离也不相等，使每个单元的电容量随之而变，
由此可获得指纹图像。
57
典型产品：美国 Veridicom公司 FPS100
FPS100的外形以及由它构成的指纹识别系统输入
设备如图 20所示, 输入设备与计算机相连 。
（ a） FPS100的外形；（ b）指纹识别系统的输入设备
图 20 FPS100的外形以及指纹识别系统的输入设备
58
美国 Veridicom公司,
● 图像搜索技术 （ ImageSeekTM
）
● 高速图像传输技术
● 手指自动检测技术 。
59
FPS100的内部框图如图 21所示 。
图 21 FPS100的内部框图
60
2.7 超小型化, 微型化, 微功耗
智能传感器正朝着 短、小、轻、薄 的方向发
展，以满足航空、航天及国防尖端技术领域的
急需，并且为开发便携式、袖珍式检测系统创
造了有利条件。
61
ADXRS300型 单片偏航角速度陀螺仪 集成电路
基于“音叉陀螺仪”（ tuning fork gyro）的原理，
采用表面显微机械加工工艺和 Bi－ CMOS半导体
工艺而制成的。
62
基本工作原理,在科里奥利力的作用下，角速度
传感器的转动方向不变，而旋转方向可以是顺时针，
也可以是逆时针，由转动物体而定。 ADXRS300通
过电容对偏航角速度进行采样,再依次经过能产生
180○ 相移的 π型解调器、低通滤波器和输出放大器对
信号进行调理，最终获得与 Z轴方向的角速度成正比
的电压信号。
63
其工作原理示意图如图 22所示 。
图 22 角速度传感器工作原理示意图
64
ADXRS300的内部电路框图如图 23所示 。
图 23 ADXRS300的内部电路框图
65
3 智能传感器与传感系统的发展及应用
● 单片集成化
● 网络化
● 智能微尘传感器
● 系统化, 高精度
● 多功能
● 高可靠性
● 安全性
66
3.1 采用 新技术 提高智能化程度
微电子技术和计算机技术的进步，往往预示
着智能传感器研制水平的新突破。近年来各项
新技术不断涌现并被采用，使之迅速转化为生
产力。
67
US0012型智能化超声波干扰探测器集成电路中采
用了, 模糊逻辑技术,
☆ 它兼有 干扰探测, 干扰识别和干扰报警 这三大功
能
☆ 将超声波探测标准 固化 到芯片中
☆能自动区分 弱干扰、强干扰、阻断 （因超声波传
感器引线开路而导致信号被阻断）,饱和 （因回波信
号过强而使接收器进入饱和状态），并发出相应的报
警信号。
68
3.2 智能微尘传感器
智能微尘 （ Smart Micro Dust）是一种具有电脑功
能的 超微型传感器 。从肉眼看来，它和一颗沙粒没有
多大区别。但内部却包含了从信息收集、信息处理到
信息发送所必需的全部部件。
69
目前，直径约为 5mm的智能微尘已经问世，智能微
尘的外形及内部结构如图 24所示。未来的智能微尘甚
至可以悬浮在空中几个小时，搜集、处理并无线发射
信息。
a）肉眼所看到的智能微尘 b）智能微尘的内部结构
图 24 智能微尘的外形及内部结构
70
智能微尘还可以, 永久, 使用,因为它不仅自带微
型薄膜电池，还有一个微型的太阳能电池为它充电。
最近，美国英特尔公司制定了 基于微型传感器网络的
新型计算机的发展规划,也将致力于研究智能微尘传
感器网络的工作。
71
智能微尘的应用范围很广，最主要的是军
事侦察监视网络、森林灭火、至海底板块调
查、行星探查、医学、生活等领域。
72
3.3 总线技术的标准化与规范化
智能传感器的总线技术现正逐步实现标准化
、规范化。
目前所采用的总线主要有以下六种,
★１－ Wire 总线
★ I2C总线
★ SMBus
★ SPI总线
★ Micro Wire总线
★ USB总线
73
◆ USB是,通用串行总线,（ Universal Serial Bus）
的英文缩写。
USB是由 Compaq,IBM,Intel、微软等公司于 1994
年共同提出的。
USB接口的优点,
● 连接单一化
● 软件自动“侦测”
● 热插拔
74
MatchBoard开发板的电路框图如图 25所示。
图 25 MatchBoard开发板的电路框图
75
（ 1） USB接口
USB是, 通用串行总线, （ Universal Serial
Bus）的英文缩写。 USB是由 Compaq,IBM、
Intel、微软等公司于 1994年共同提出的。 USB接
口具有 连接单一化、软件自动, 侦测,,能直
接配 PC机、能实现热插拔 的优点。
目前,USB1.0的传输速率为 12Mpbs，而
USB2.0的传输速率最高可达 480Mpbs。这是其
它总线所无法达到的。
76
（ 2） SPI总线接口
MAX1457属于高精度 （ 0.1％ ） 硅压阻式压
力信号调理器芯片 。
由 n个压力测量模块与微机、数字电压表可
构成基于 SPI总线的高精度压力测试系统。
77
电路如图 26所示 。
图 26 基于 SPI总线的高精度压力测试系统的电路
78
（ 3） 基于 HART协议 的测试系统
问题的提出,目前智能传感器都是数字式的
，而在工业测试现场仍大量使用 4～ 20mA模拟
输出 的系统（包括传感器、变送器及二次仪表
等）。
79
为了解决这一技术难题, 美国罗斯蒙特 （ Rosemount）
公司提出了 HART协议 （ Highway Addressable Remote
Transducer Protocol,可寻址远程传感器通信协议 ） 作
为过渡性标准 。
该通信协议具有与现场总线相类似的体系结构以及
总线式数字通信功能。
80
HART协议是 在模拟信号上叠加了 FSK（频
移键控）数字信号,因此可同时进行模拟通信
和数字通信。这就保证了 4～ 20mA模拟系统与
数字通信系统兼容，能在一条双绞线上连接多
台现场设备，构成多站网络，使不同厂家的产
品互相通用。
81
HART协议采用“频移键控”（ FSK）技术。频移键控是
频率调制的一种方法，调制信号只能在几个不同的固定频率
之间变动，典型的例子是用二进制信号进行调频，用一个频
率表示数据,1”，另一频率表示,0”。 HART协议是在 4mA～
20mA的模拟信号上叠加不同的频率信号，来代表所要传输或
接收的数据。
根据 Bell202标准，在 HART协议信号波形中，数字信号分
别用 1200Hz代表逻辑,1”,2200Hz代表逻辑,0”，信号传输
速率为 1200bit/s，数字频率信号的电流幅值为 ± 0.5mA。由于
在一个周期内数字频率信号的平均值为零，因此不会对
4mA～ 20mA的模拟信号产生影响，这是 HART协议最重要的
特点之一。
82
图 27 HART协议的信号波形
83
它既保留了 4mA～ 20mA过程控制信号的工
业标准，又能在一条双绞线上同时传输模拟信
号和数字信号而互不影响，从而保证了 4mA～
20mA模拟系统与数字通信系统兼容性 。在双绞
线上可连接多台现场设备，构成多站网络，使
不同厂家的产品互相通用。
84
目前，许多国际上著名的公司已接受了
HART协议，还成立了专门机构来 推广 HART
协议 。
最近，我国也发布了,国产符合 HART协议
智能仪表管理办法,并开始实行。
因此,HART协议已被认为是事实上的工业
标准，但它仍属过渡性协议，还不能称作现场
总线。
85
3.4 虚拟传感器和网络传感器
（ 1） 虚拟传感器
虚拟传感器是 基于软件 开发而成的智能传感器。
它是在硬件的基础上通过软件来实现测试功能的，利
用软件还可完成传感器的校准及标定，使之达到最佳
性能指标。
86
◆ MAXIM公司不仅研制出高精度硅压阻
式压力信号调理器芯片 MAX1457，还专门给
用户提供一套工具软件（ EV Kit）和通信软
件。
87
◆ Sensirion公司专门为 SHT15型湿度／温
度传感器提供测量露点用的 SHT1xdp.bsx软件。
88
◆ Atmel公司和 Veridicom公司都向用户提
供开发指纹传感器的应用程序，例如在
InstaMatchTM软件包 中就包含着指纹识别算
法。
89
（ 2） 网络传感器
智能传感器的另一发展方向就是网络传感
器 。
网络传感器是包含 数字传感器、网络接口
和处理单元 的新一代智能传感器。
90
被测模拟量 → 数字传感器 → 数字量 → 微处理
器 → 测量结果 → 网络 。
可实现各传感器之间、传感器与执行器之间、
传感器与系统之间的数据交换及资源共享，在
更换传感器时无须进行标定和校准，可做到“
即插即用,。
91
美国 Honeywell公司开发的 PPT系列,PPTR系列
和 PPTE系列 智能精密压力传感器就属于网络传感器。
在构成网络时，能确定每个传感器的 全局地址、
组地址和设备识别号 （ ID）地址。用户通过网络就能
获取任何一只传感器的数据并对该传感器的参数进行
设置。
92
a) RS－ 232环形网络
具有 6个 PPT单元的 RS－ 232环形网络如图 28所示 。
RS－ 232环形网络的起点和终点都在主机的 TXD、
RXD和 GND接口线上 。 其特点是网络接口可接多台
PC机的串行接口 。
图 28 具有 6个 PPT单元的 RS－ 232环形网络
93
b) RS－ 485多点网络
具有 6个 PPT单元的 RS－ 485多点网络如图 29所示 。
在该网络中, 各 PPT单元的 ID地址可以不按照顺序排
列 。
图 29 具有 6个 PPT单元的 RS－ 485多点网络
94
由中科院上海技术物理研究所研制的激光高度计，
2004年 3月 1日在北京通过了初样评审。它将随中国第
一颗探月卫星亲历绕月旅行，用三维影像再现月球表面
原始风貌，为下一步宇航员登月选择最佳着陆点。
激光高度计由激光器、激光望远镜和接收电路组装
首先，由激光器向月球表面发射激光束；只需一瞬间，
被月球弹回的光信号, 嗖, 地一下钻进激光望远镜，变
成电信号；接着，接收电路盒将迅速进行精确计算，用
最短时间得出该探测点的月球海拔高度。当激光高度计
完成绕月旅行，月球表面每个探测点的海拔高度在, 摄
影师, 心中已是一目了然。这些数值一旦与其它照相机
拍摄的平面图像相叠加，就是一幅完整而精确的月球表
面三维地形图。
95
96
4 结语
智能传感器是 信息时代的骄子,它正
成为推动信息产业发展的 强大动力 。智能传
感器在电子信息工程领域具有特殊重要的意
义，需要我们继续深入地研究、开发和推广
应用。
97
主要参考文献
1,Honeywell公司,Humirel公司,Mierosemi公司、
Agilent公司,Atmel公司,Veridicom公司,ADI公司、
NSC公司,Telcom公司,Philips公司,MAXIM公司、
DALLAS公司,ST公司,Motorola公司,Sensirion公司、
HOLTEK公司,Rosemount公司,Infineon公司,Murata
Manufactuaring Co.,Lta公司产品资料,2000～ 2003
2,沙占友主编,,集成化智能传感器原理与应用,,
电子工业出版社,2004.1
3,沙占友主编,,新编实用数字化测量技术,,第一
作者，国防工业出版社,1998.1
98
谢谢大家 !
