第二讲 光 电 检 测 技 术
基础 (Ⅱ )
李 孝 禄
前 言
本次课程介绍:
1.半导体物理基础 。 包括半导体的特性, 能
带理论, 载流子及运动, 载流子对光的吸收, 半
导体的 PN结及与金属的接触 。
2.光电效应 。 光电器件依据的物理基础主要
是固体的光电效应, 就是固体中决定其电学性质
的电子系统 直接 吸收入射光能, 使固体的电学性
质发生改变的现象 。 例如:光电子发射效应, 光
电导效应, 光生伏特效应等 。
你知道吗?
光电器件的主要用途:
( 1) 用来察觉微弱光信号的存在和测量光信号的强
弱,主要考虑的是器件探测微弱光信号的能力。
( 2) 在自动控制中作为光电转换器, 主要考虑的是
光电转换效能 。
其他用途:作为测量用的光电池和和作为能源的
太阳能电池 。
第四节 半导体物理基础
一、半导体的特性
电阻温度系数是负的,对温度变化敏感。
导电性能受微量杂质的影响而发生十分敏感的变化。
导电能力和性质受外界作用发生重要的变化。
二、半导体的能带
能带理论:晶体中的电子只能处于能带的
能级上, 且每一个能带中都有与原子总数
相适应的能级数 。
泡利原理:在每一个能级上最多只能容纳
两个自旋方向相反的电子 。
半导体晶体能带图:
导带
价带
满带
禁带
E
禁带
gE
根据能量最小原理,电子填充能带时,总
是从最低的能带、最小能量的能级开始填充。
满带:任何时间都填满电子数。
价带:绝对零度时,价带为价电子占满。而
导带中没有电子。
导带:价带中电子获得足够的热能或辐射能
后,就会越过禁带进入导带。
三、半导体的类型
1,I型半导体(本征半导体):
I型半导体是完全纯净或结构完整的半导体,
是完全由基质原子组成的晶体。在绝对零
度时,不受外界影响的情况下,导带没有
电子,价带也没有空穴,因此不能导电。
在热运动或外界的影响下,价电子跃迁到
导带,产生自由电子和空穴,构成导电载
流子。
2,N型半导体
对 N型半导体,施主杂质中的电子只要获得
很小的能量,就能脱离原子而参加导电,
由于导带中的电子在导电中起主要作用,
因此也称为“电子型半导体”。由能级图
可见,施主能级处于禁带内导带底的下面。
电子从施主能级跃迁到导带所需的能
量 。在常温下,电子所具有的
平均热能就足以使施主原子电离。因此,
对 N型半导体具有较高的电导率。
Di EEE ?? ?
3,P型半导体
P型半导体是以空穴为主导电的半导体,这
样的半导体也称为“空穴型半导体”。由
能级图可见,受主能级处于禁带内价带顶
的上方,价带电子跃迁到受主能级所需的
电离能 。这时由于电子填充了
共价键中的空位而出现空穴。在常温下,
电子所具有的平均热能就足以使受主原子
电离。因此,对 P型半导体具有较高的电导
率。
??? EEE Ai
说明:
从半导体载流子的浓度考虑, 若在无辐射时
电子和空穴的浓度分别为 n和 p,则当 n<<
p时, 这种半导体称为 P本征半导体;当 n>
> p时, 称为 N型半导体;当 n= p时, 称为 I
型半导体 。
四、热平衡载流子
费米 -狄拉克分布函数
禁带宽度
半导体费米能级
?E
?E
gE
)(a
?E
?E
)(b
gE
DE
?E
?E
)(c
gE
AE
五、非平衡载流子
非平衡载流子定义
寿命
复合
陷阱效应
六、载流子的运动
扩散运动
漂移运动
爱因斯坦关系:描述扩散运动与迁徙率的
关系
七、光辐射与半导体的相互作用
当光辐射作用在半导体上时,半导体吸收
光辐射能量,价带的电子获得辐射能后将
跃迁到导带,产生新的电子空穴对,形成
非平衡载流子,从而提高材料的电导率。
半导体对光辐射的吸收分为本征吸收、杂
质吸收、载流子吸收、激子和晶格吸收五
种光吸收效应。
⒈ 本征吸收
本征吸收是指电子在辐射作用下, 从
价带跃迁到导带的吸收 。 研究本征吸
收时应考虑半导体的能带结构 。 如前
所述, 对直接带隙材料, 电子所需的
能量应大于或等于能隙 Eg;而对间接带
隙材料, 电子除需要大于或等于能隙
的能量外, 还需要声子的能量 。
⒉ 杂质吸收
在半导体禁带内存在杂质能级时, 在小于
能隙能量的光子作用下, 杂质能级和相应
的能带间出现电子跃迁而形成的非平衡载
流子-电子或空穴 。 杂质吸收的光谱区位
于本征吸收的长波方向, 其光子能量应大
于或等于所需的电离能 。
⒊ 载流子吸收
载流子浓度很大( ~ )时,导带中的
电子和价带中的空穴产生带内能级间跃迁而出
现的非选择性吸收
⒋ 激子和晶格吸收
指所吸收辐射的能量转变为晶格原子的振动能
量,或由库仑力相互作用形成电子和空穴的能
量。 这种吸收对光电导没有贡献,甚至会降低
光电转换效率。
1910 2010 3?cm
第五节 光电效应
光电效应的定义
光电效应的分类
光电效应的物理现象
一、光电效应
物质在光的作用下,不经升温而直接引起物质
中电子运动状态发生变化,因而产生物质的光电
导效应、光生伏特效应和光电子发射等现象。
在理解上述定义时,必须掌握以下三个要点,
原因:是辐射,而不是升温;
现象:电子运动状态发生变化;
结果:电导 率变化,光生伏特、光电子发射。
简单记为:辐射 → 电子运动状态发生变化 → 光
电导效应、光生伏特效应、光电子发射。
光对电子的直接作用是物质产生
光电效应的起因
光电效应的起因,在光的作用下, 当光敏物质中
的电子直接吸收光子的能量足以克服原子核的束
缚时, 电子就会从基态被激发到高能态, 脱离原
子核的束缚, 在外电场作用下参与导电, 因而产
生了光电效应 。
这里需要说明的是, 如果光子不是直接与电子起
作用, 而是能量被固体晶格振动吸收, 引起固体
的温度升高, 导致固体电学性质的改变, 这种情
况就不是光电效应, 而是热电效应 。
二、光电效应分类
光与物质的作用实质是光子与电子的作用,电子吸收光子的能量后,
改变了电子的运动规律。由于物质的结构和物理性能不同,以及光和
物质的作用条件不同,在光子作用下产生的载流子就有不同的规律,
因而导致了不同的光电效应。
外光电效应 光电子发射
光电效应 光电导效应
内光电效应 光生伏特效应
丹倍效应
光磁效应
外光电效应, 是指物质受光照后而激发的电子逸
出物质的表面, 在外电场作用下形成真空中的光
电子流 。 这种效应多发生于金属和金属氧化物 。
内光电效应,是指受光照而激发的电子在物质内部
参与导电, 电子并不逸出光敏物质表面 。 这种效
应多发生于半导体内 。 内光电效应又可分为光电
导效应, 光生伏特效应, 丹倍效应和光磁电效应
等 。
外光电效应和内光电效应的 主要区别 在于:受光
照而激发的电子, 前者逸出物质表面形成光电子
流, 而后者则在物质内部参与导电 。
三,光电效应的物理现象
( 一 ) 光电导效应 ( 1873年 )
半导体材料受光照时,由于对光子的吸收引起
载流子浓度的增大,因而导致材料电导率增大
(电阻减小),这种现象称为光电导效应。
( 1)光电导率,假设在辐射作用下,由于吸收
光子能量而产生的自由电子及空穴的浓度增量
分别为 Δn及 Δp,则在光照稳定情况下光电导
体的电导率变为
??
????
???
???
??????
??????
0
00
00
)()(
])()[(
pnpn
pn
pnepne
ppnne
( 2) 本征半导体的 光电导效应
光照时,处在价带中的电子吸收入射光子的能量,
若光子能量大于禁带宽度时,价带中的电子被激
发到导带成为自由电子,同时在原来的价带中留
下空穴,外电场作用时,光激发的电子空穴对将
同时参加导电。从而使电导率增加 。
光照激发电子由价带跃过禁带进入导带的条件是
能够激发电子的光辐射长波限为
gEh ??
)(24.10 m
EE
hc
gg
?? ??
( 3)杂质半导体 的 光电导效应
N型光电导体, 主要是光子激发施主能级中的电
子跃迁到导带中去, 电子为主要载流子, 增加
了自由电子的浓度 。
P型光电导体, 主要是光子激发价带中的电子跃
迁到受主能级, 与受主能级中的空穴复合, 而
在价带中留有空穴, 作为主要载流子参加导电 。
增加了空穴的浓度 。
只要光子能量满足 就能激发出光生载
流子 。
相应的 杂质光电导体的长波限为
iEh ??
)(24.10 mEEhc
ii
?? ??
( 4)光电导体的灵敏度
灵敏度指一定条件下,单位照度引起的光电流。
光电导体的灵敏度指 一定光强下光电导的强弱。可用
光电增益 G 表示。
( 4)
:量子产额,即吸收一个光子所产生的电子空穴数。
:光生载流子寿命,非平衡载流子复合快慢或平均存
在时间。
( 5)
将( 5)代入( 4)得
lt
G ???
?
?
?? ULELt l
2??
2L
UG ? ???
( 5)光电导的弛豫
光电导是一种非平衡载流子效应,因此有弛豫现
象。
光照到物体后,光电导逐渐增加,最后达到定态。
光照停止后,光电导在一段时间内逐渐消失,这
种现象表现了光电导对光强变化反应的快慢,光
电导上升或下降的时间就是弛豫时间,或称为响
应时间(惰性)。从实际应用将讲,其决定了在
迅速变化光强下,能否有效工作。从光电导的机
理看,弛豫表现为在光强变化时,光生载流子的
积累和消失过程。光电导弛豫现象有两种典型的
形式。
rIn ???
( 6)光电导的光谱分布
光谱分布首先是光生载流子的激发问题,即某种
波长的光能否激发非平衡载流子及其效率如何的
问题。
对于本征半导体,当波长增加时,光电导随之增
加,经过一个最大值后,有陡峭的下降,由于不
存在一个明显的长波限,莫斯提出把光电导的数
值降到最大值一半处的波长定为长波限。
对于杂质半导体,吸收光子要将杂质能级上的电
子或空穴 激发为自由的光生载流子,要求
而, 所以,由
于 很小,很长。
iEh ?? gi EE ? 本杂 〉 ??
iE 杂?
(二)光生伏特效应
光生伏特效应是光照使不均匀半导体或均匀半导
体中光生电子和空穴, 并在空间分开而产生电位
差的现象 。 即将光能转化成电能 。
不均匀半导体:由于半导体对光的吸收, 内建电
场使载流子定向运动而产生电位差 。 ( 像 PN结,
异质结, 肖特基结 )
均匀半导体:无内建电场, 半导体对光的吸收后,
由于载流子的扩散速度不同, 导致电荷分开, 产
生的光生电势 。 如丹倍效应和 光磁电效应 。
⒈ PN结的光生伏特效应
PN结受到光照时:光线足以透过 P型半导体入射到
PN结,对于 能量大于材料禁带宽度 的光子,由于
本征吸收,就 可激发出电子空穴对 。 内建电场 把 N
中的 空穴 拉 向 P区,把 P中的 电子 拉 向 N区。 大量的
积累产生一个与内建电场相反的光生电场,即形
成一个光生电势差。
P N
?h
P
N
LR
GE
表示电子
表示空穴
I
光照度越强,光生电动势也就越大。
当 PN结两端通过负载构成闭合回路时, 就会有电
流沿着由经外电路到的方向流动 。 只要辐射光不
停止, 这个电流就不会消失 。 这就是 PN结被光照
射时产生光生电动势和光电流的机理 。
注意:
⑴ PN结产生光生伏特的条件是,
与照射光的强度无关;
⑵ 光生伏特的大小与照射光的强度成正比 。
gEh ??
开路光电压、短路光电流与入射光功率之
间的关系
若 入射光作用下, 产生光生电压为 U,光生
电流为 Ip,入射光功率为 P。 在 PN结两端通
过负载 RL构成的回路及等效电路为
LR
I
U LR
pI
jI
I
U
在 PN结两端通过负载 RL构成的回路中, 外电流 I与光生电
流 Ip和 PN结结电流 IJ之间的关系为
由 PN结电流特性知, 结电流
所以
光生电压为
JP III ??
]1)[ ex p (0 ?? kTeUII J
]1)[ ex p (0 ??? kTeUIII P
)1ln (
0I
II
e
kTU P ???
⒉ 异质结的光生伏特效应
同质结是用同一本征半导体掺以不同杂质形成的
结。异质结是采用外延技术在一种半导体晶体上
生长不同半导体材料形成的结。
由于两种不同半导体材料具有不同的禁带宽度。
只有当入射 光子 到达结区时,小于 宽 禁带宽度 而
大于 窄 禁带宽度 的光子被吸收, 而且吸收光子和
激发光生载流子的地方和结区相重合,从而 排除
了表面载流子的复合损失,提高了光电转换效率,
得到快速响应的特性。
⒊ 肖特基结的光生伏特效应
当在半导体基底上沉积一层金属形成的, 金属-半导
体, 接触时,在接触区附近也会形成空间电荷区和势
垒,这种势垒称为肖特基结或肖特基势垒。
在肖特基结中,载流子的激发有二种途径:一种
是,光子被半导体吸收,形成电子
空穴对,在内建电场的作用下,电子向半导体漂移,
空穴向金属漂移;
另一种是,光子被金属吸收,激发
的光电子向半导体移动。
gEh ??
DeVh ??
⒋ 丹倍效应
由于光生载流子的扩散在光的传播方向产生电位差的现
象称为光电扩散效应或丹倍效应 。
当:用 光照射均匀半导体的表面时,在
近表面层发生强烈地吸收,产生高浓度的电子和空穴。
在半导体近表面层至体内形成载流子浓度的梯度分布,
因而发生电子和空穴都从照射表面向半导体内部的扩散
运动。
电子与空穴相比具有较大的迁移率和扩散系数, 因此电
子会扩散到半导体的更深处 。 在短期内导致被光照表面
带正电, 另一面带负电, 建立起光生电场 。 即在照射表
面和未照射表面间产生一定电位差 。
ig EhEh ?? ?? 或
⒌ 光磁电效应
放在磁场内的均匀半导体材料受到光照射
时,如果 磁场的方向垂直于 xoy平面,洛伦
兹力把扩散电子和空穴偏转到相反方向,
导致电子和空在垂直于 光照方向和 磁场方
向的 半导体的两端面分别积累,产生光磁
电 场,对应的电动势被称为光磁电电动势。
(三) 光电发射效应
1,光电发射原理
具有能量 hν的光子,被物质(金属或半导
体)吸收后激发出自由电子,当自由电子
的能量足以克服物质表面势垒并逸出物质
的表面时,就会产生光电子发射,逸出电
子在外电场作用下形成光电子流。这就是
物质的光电发射现象。光电发射现象又叫
做外光电效应。
可以发射电子的物质称为光电发射体。
2、光电发射的基本定律
( 1) 爱因斯坦定律 ( 光电发射第二定律 )
发射体发射的光电子的最大动能, 随入射光频率
的增加而线性的增加, 而与入射光的强度无关 。
( 2) 斯托列托夫定律 ( 光电发射第一定律 )
当入射辐射的光谱分布不变时, 入射辐射通量越
大 ( 携带的光子数越多 ), 激发电子逸出光电发
射体表面的数量也越多, 因而发射的光电流就增
加, 所以光电流正比于入射辐射通量 。
3,光电发射长波限
根据爱因斯坦公式
式中 m为电子质量; 为电子逸出后的最
大速度; 为入射光的频率; 为普朗克常
数, 其值为 ; 为光
电发射体的逸出功 。
显然, 当 时, 逸出电子无动能
,那么, 就不会产生光电发射, 因此, 光电发
射存在长波限
WW E
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SJ ?? ? 341062.6 WE
0?? WEhc ?
)(24.10 mEEhc
WW
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探测器件所依据的物理效应的共同特性是:
( 1)光电效应的有、无只与入射光的波长、频率
有关,与入射光的强度无关;
—— 光电效应的产生,唯一的取决于入射光的
波长、频率以及器件的能级结构。
( 2)光电效应的强弱既与入射光的强度有关,也
与入射光的波长、频率有关。
—— 入射光的强弱反映入射光子数的多少;入
射光的波长、频率不同,器件对其的响应度不同。
作 业
1.简述半导体的特性和能带理论。
2.什么是热平衡和非平衡载流子?说说
它们的运动机理。
3.半导体对光的吸收有哪些?
4.描述光电效应产生机理。
预 习
第二章 第一、二节