第三节 第三节 压电元件常用结构形式 压电元件常用结构形式 一、压电元件的基本变形 二、双晶片元件 返回 一、压电元件的基本变形 一、压电元件的基本变形 1、厚度变形（TE方式） q 1 =d 11 σ 1 2、长度变形（LE方式） q 1 =d 12 σ 2 3、面剪切变形（FS方式） q 1 =d 14 σ 4 q 2 =d 25 σ 5 4、厚度剪切变形（TS方式） q 2 =d 26 σ 6 5、弯曲变形（BS方式） 返回上一页下一页 返回上一页下一页 二、双晶片元件 二、双晶片元件 实际使用中，采用单片压电片工作的话 要产生足够表面电荷就需很大作用力 测量粗糙度和微压差时所提供的力很小 因此常将两片或多片组合工作 返回上一页下一页 返回上一页下一页 每个单片产生的电荷和电压的关系如下： Q = U×C 设单个晶片受拉时，a面出现正电荷，b面为负电荷 分别称a、b面为＋和－面 返回上一页下一页 双片 双片 并联 并联 受力弯曲时，电荷排列如图 C’ = 2C U’ = U Q’ = 2Q 返回上一页下一页 双片串联 双片串联 受力弯曲时，电荷排列如图 C’ = C/2 U’ = 2U Q’ = Q 返回上一页