第七节 第七节 力平衡式电容传感器 力平衡式电容传感器 z一、闭环反馈式传感器的原理与特点 z二、力平衡式加速度电容传感器 返回 一、闭环反馈式传感器的原理与特点 一、闭环反馈式传感器的原理与特点 前向环节 反馈量 × 转换元件 输出 图4-29 闭环传感器原理框图 输入 放大环节 转换元件 电量 敏感元件 被测量 反馈量 × W 0 (s) W f (s) 输出 图4-30 闭环系统框图 输入 二、力平衡式加速度电容传感器 二、力平衡式加速度电容传感器 z 1．系统组成和工作原理 z 2．传递函数 z 3．特性 z 4．应用 1．系统组成和工作原理 ．系统组成和工作原理 a x x 0 0 y cb m I R U 0 I 图4-31 力平衡式电容加速度传感器原理图 放大 电路 2．传递函数 ．传递函数 图4-32 力平衡式电容加速度传感器原理框图 β F δ maa × F x F β yUIU 0 W 1 (s) A 0 W 0 (s) m 惯性敏 感系统 电容位 移传感 放大 器 R 力发生器