第六节 第六节 容栅式传感器 容栅式传感器 z变面积型电容传感器的基础上发展起来 z电容式传感器优点＋平均效应（多极电容） 减小了寄生电容的影响 提高了抗干扰能力 提高了测量精度(可达5μm) 扩展了量程(可达1m) z应用于数显卡尺、测长机等数显量具 测 量 电 路 测 量 电 路 闭 环 反 馈 式 闭 环 反 馈 式 返回下一页 基本原理与类型 基本原理与类型 z长容栅 z圆容栅 片状 柱状 返回上一页下一页 z一、工作原理及转换电路 (一) 开环调幅式测量原理 (二) 闭环调幅式测量原理 (三) 调相式测量原理 z二、容栅传感器的结构形式 (一) 反射式 (二) 透射式 (三) 倾斜式 返回上一页下一页 二、容栅传感器的结构形式 二、容栅传感器的结构形式 (一) 反射式 (二) 透射式 (三) 倾斜式 返回上一页下一页 (一 一 ) 反射式 反射式 定栅 动栅和定栅的安装 屏蔽极S M 1 M 2 M 3 M 4 4l 0 4l 0 4 8 l 0 输出 动栅 公共接收极R 2 3 5 6 7 888 111 22 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7 3 4 5 6 7 M 5 · 结构形式简单，使用方便， 移动过程中，导轨的误差对测量精度影响较大 返回上一页下一页 (二 二 ) 透射式 透射式 金属带 测量装置 矩形窗口发射电极接收电极 外 形剖 面 测量调整方便、安装误差和运行误差的影响降低、制造安装困难 返回上一页下一页 (三 三 ) 倾斜式 倾斜式 8 l 0 输出公共接收极R 23 5678 8 8111 2 234567123456734567 · 4 α 倾斜式容栅传感器动栅形状图 倾斜式容栅传感器动栅形状图 对加工精度要求不高 返回上一页下一页