第四节 第四节 电容式传感器的应用 电容式传感器的应用 直线位移 角位移 振动振幅 适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、 加速度等机械量 应 应 用 用 返回下一页 较小位移的测量， 量程在0.01μm至数百微米、 精度可达0.01μm 分辨率可达0.001μm。 较大的位移测量， 量程为零点几毫米至数百毫米之间、 线性优于0.5%、 分辨率为0.01～0.001μm。 变极距型 变极距型 变面积型 变面积型 返回上一页下一页 动态范围为至几十度 分辨率约0.1″ 零位稳定性可达角秒级 广泛用于精密测角 如用于高精度陀螺和摆式加速度计 可测峰值为0～50μm 频率为10～2kHz 灵敏度高于0.01μm 非线性误差小于0.05μm 角 角 度 度 角位移 角位移 测振幅 测振幅 返回上一页下一页 差动测量范围可达50MPa， 精度为±0.25%～±0.5%。 测量范围为几百微米， 分辨率可达0.01μm。 能检测金属、塑料、木材、纸、液体 还不能达到超小型， 动作距离约为10～20mm。 压 压 力 力 厚 厚 度 度 接近开关 接近开关 静电电容式 电平开关 电平开关检测油罐、料斗等容器中物体位置 返回上一页下一页 非接触测量 非接触测量 测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时， 往往采用单边式变极距型，这时被测物是电容 器的一个电极，另一个电极则在传感器内。 这类传感器属非接触测量， 动态范围小，约为十分之几毫米左右， 测量精度超过0.1μm， 分辨率为0.01～0.001μm。 返回上一页下一页 具体应用举例 具体应用举例 一、电容式位移传感器 二、电容式加速度传感器 三、电容式差压传感器 返回上一页下一页