薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄膜光学的基础理论
?电磁场的基本性质
?光学薄膜系统特性计算
?对称膜系等效折射率分析方法
?介绍麦克劳德的导纳轨迹图解技术
薄 膜 光 学 —— 基础理论
光学薄膜基础理论
几个条件:
?工作波段:光学
?薄膜厚度于考虑的波长在一个数量级
?薄膜的面积与波长相比可认为无限大
?薄膜材料各向均匀、同性
?薄膜材料为非铁磁性材料
?光穿过膜层而非沿着膜层在膜层内传播
薄 膜 光 学 —— 基础理论
电磁波谱
电磁波谱
光是电磁波
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄膜的干涉
两束光产生干涉的条件:
?频率相同
?振动方向一致
?位相相同或位相差恒定
薄膜的双光束干涉
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
单层膜的多光束干涉
多光束干涉强度
的计算原则上和双光
束完全相同,也是先
把振动迭加,再计算
强度,差别仅在于参
与干涉的光束由两束
增加到多束,至于计
算方法则以采用复振
幅最为方便。
薄 膜 光 学 —— 基础理论
麦克斯韦方程组
微分形式 积分形式
以上是麦克斯韦在 电学高斯定律, 磁学高斯定律, 法拉第
电磁感应定律, 安培定律 总结归纳出来的
薄 膜 光 学 —— 基础理论
E—— 电场强度 j—— 电流密度矢量
D—— 电位移矢量 jD——位移电流矢量
H—— 磁场强度 ρ —— 电荷密度
B—— 磁感应强度 ε —— 介电常数
μ—— 磁导率 σ —— 电导率
个向同性、均匀介质物质方程:
D =ε E B =μ H j = σE
麦克斯韦方程组
薄 膜 光 学 —— 基础理论
? ? ? ? EEE 2??????????等式左端:
0
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j
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B
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11
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等式右端:
??式两端分别用将麦克斯韦方程 3
平面电磁波理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
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2
2
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t
E
ct
E
c
E
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? ? ? ? )中带入(设它的解,1 2 ??vxtieEE ?? ?
0
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2
2
i
v
c ??整理得到:
平面电磁波理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论
c2/v2是一个介质固有的无量纲的常数,将 c/v记作 N
为正的解有两个解,取
有如下形式则即
nN
N
ikn
v
c
N
iN
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4
,2
n称为折射率; k称为消光系数
N称为复折射率;光学导纳
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论
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4
2 n k
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22
kn整理比较可得:
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4
2 n k
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22
kn
在光学波段 μ约为 1
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论
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2
e x p
2
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2
0
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所确定的方向传播则:,,若光波沿
的平面波轴方向传播的波长为这是一个沿
)代入(将
? ? ? ?2 ??vxtieEE ?? ?
0
薄 膜 光 学 —— 基础理论
? ?
称为光学厚度
效应降为使距离:
可得代入将
nx
nx
:
,/1
2
2
e x p
2
e x p
2
e x p
2
0
0
0
趋肤eE
k
ti
kx
EE
Nx
tiEE
ikn
v
c
N
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平面电磁波理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— E和 H的关系
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E
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kji
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N
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e x p
2
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由麦克斯韦方程:
方向的平面波对于沿
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— E和 H的关系
? ?
。在数值上才等于折射率
,光学导纳光学波段称为光学导纳,只有在
的另一种表达式,这是一定的比例
还有不但垂直,而且数值间、电磁波是横波,
三个量相互垂直、、;这说明
可得:;同理
:比较可得
1
:
)1(
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?????
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N
Er
H
N
HE
HErErNH
EHrEN
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 坡印廷矢量
电磁波传播时,表示单位时间内通过单位面积的
能矢量 S,称为坡印廷矢量,或能流密度
? ?
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? ? ? ?? ? kEN
c
EkEkEEN
c
S
EkEN
c
S
EH
c
S
HE
c
S
2
44
4
8
4
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另一方面:
为定值其平均值在一个周期内
值是变化的因为坡印廷矢量的瞬时;

这表明电磁波坡印廷矢量和振幅平方及介质的光学导
纳成正比。
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 单一界面的反射和折射
E和 H的边界条件
? ?
的切向分量的连续和在界面上
=H同理可证明:H
=EtE
ld




l=-EE由图可得:
Sd


:很小,由麦克斯韦方程,宽长
闭曲线的界面做一个长方形封、在
t2t1
t1
t2t1
HE
c
ldE
dl
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1
21
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 反射和折射定律 ? ?
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0
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1
1
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0
0
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e x p
2
e x p
c o ss i n
2
e x p
波的相位因子:入射波、反射波、透射
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? ?
? ?
tr
tr
tri
NNN
NN
yx
z
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10
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0
2;1
0
??
???
???
?
系数相等、相位中对应的
足边界条件处,任何时间内始终满由于在
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 反射和折射定律
1100
0
s ins in ??
??
NN
r
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?
结论:
---菲涅尔折射定律
它不仅适用于介质,同样适用于金属。
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 反射和折射定律
垂直入射的情况,E和 H都与界面平行
由于第二种介质中没有反射波,H1=Ht E1=Et
? ?111 EkNH ??
在第一种介质中有正方向和反方向两种波
? ? ? ?????
????
????? 000000
0000; EkNHEkNH
HHEE
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 反射和折射定律
2
10
10
0
10
10
10
10
0
10
10
0
0010011
0
NN
NN
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NN
NN
NN
NN
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NN
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HHHEEEEz
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为实数则对于
可以得到:;时应用边界条件:
E
10
10
0
0
NN
NN
E
r
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???
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?
E
R可以是正数、也可
以是负数( 180度为
相越变)
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 反射和折射定律
对于倾斜入射:引进一个修正光纳 η
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c o sc o s
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10
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NN
NN
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s
s
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光对于则:
垂直于入射平面时当同理
可得到
与于界面平行光横磁波)对于
的定义为:仿照光纳定义,
薄 膜 光 学 —— 基础理论
平面电磁波理论 —— 布儒斯特角
布儒斯特角得到
又根据折射定律
特角这一入射角称为布儒斯当分子为零反射为零,
光:对于
??
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c o sc o s
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??
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N
N
NN
NN
NN
NN
r-p
薄 膜 光 学 —— 基础理论
当第二种材料是吸收材料时
菲涅尔公式还是有效的:
这时的透射率没有意义,反射率可以得到:
薄 膜 光 学 —— 基础理论
当光线入射到介质、金属表面时 p-
光,s光反射率随角度的变化情况
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
薄 膜 光 学 —— 基础理论
电学的高斯定律
qSdE ???0?
对于任何闭合的假想面(叫高斯面),通过假
想面的电场通量与该面所包围的净电荷之间的
关系:
薄 膜 光 学 —— 基础理论
磁学的高斯定律
0??? SdB
对于任何闭合的假想面(叫高斯面),通过假
想面的磁场通量为 0:
薄 膜 光 学 —— 基础理论
法拉第电磁感应定律
dt
d
c
ldE B
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????
1
变化的磁场产生电场
薄 膜 光 学 —— 基础理论
安培定律
ildB 0????
电流与磁场的关系
薄 膜 光 学 —— 基础理论
位移电流
dt
d
i Ed
?
? ?
具有与电流相同的量纲及特性