第三章 电离技术及离子源
? 3.1 电子轰击源（ Electron impact ionization,
EI）
灯丝在高真空中被电流炽
热，发射出电子，经电离
电压加速进入电离区，与
汽化的样品分子作用使得
一些分子获得能量失去电
子而形成正离子。
辅助磁场可使电子运动轨
迹成螺旋线性，增大与中
性分子的碰撞几率。
而生成的离子束沿着与电
子束成直角的方向被一高
的加速电压引出 。
一般采用 70 eV的轰击能量,标
准谱图就是 70 eV下获得。
不同能量下苯甲酸的 EI源质谱图
在不同能量电子束时苯甲酸的 EI谱中的
主要离子丰度
离子
(m/Z)
不同能量电子束时离子的相对丰度
9eV 12eV 15eV 20eV 30eV 70eV
122 100 100 100 100 100 100
105 0 8.1 29.7 70.3 81.1 81.1
77 40.5 56.8 64.9
51 43.2 48.7
39 10.8 18.9
EI源优点：
? （ 1） 多数情况下, 能获得分子离子, 即可获得分子量的
信息 。 同时也能获得很多由于分子离子碎裂所表现出来的
结构信息 。 由分子离子及大量的碎片离子, 可以推演出碎
裂过程, 从而可以推出被测有机分子的结构 。
? （ 2） 适应性广 。
? （ 3） 可以精确地控制电子束能量, 从而能方便地控制有
机分子的电离及分子离子的内能, 也即能控制分子离子的
碎裂 。
EI源的缺点：
? （ 1） 对有些化合物来说, 不能得到或仅能得到极弱的分
子离子峰 。 如链烃, 醇等, 这时就难以确定被测物分子的
分子量 。
? （ 2） 对一些位置异构体 （ 如二氯苯 ） 和顺反异构体不能
分辨, 或鉴别起来十分困难 。
? （ 3） 对于那些十分依赖加温才能挥发的有机物, 有时因
热不稳定而只能测得分解产物的质谱 （ 如肽类化合物 ）,
有的因根本不挥发而测不到有用的谱 （ 如聚苯乙烯 ） 。
3.2 化学电离源（ Chemical ionization
source,CI）
化学电离源的示意图
? 通过引入大量的试剂气，使样品分子与电离电子不直
接作用。试剂气分子被电子轰击电离后因离子－分子
反应产生一些活性反应离子，这些离子再与样品分子
发生离子－分子反应，使样品分子实现电离。
CH4 + e ? CH4+ ? + 2e
CH4+? + CH4 ? CH3? + CH5+
CH3+ + CH4 ? H2 + C2H5+
CH2+? + CH4 ? H2 + C2H4+?
?
C2H3+ + H?
C2H3+ + CH4 ? H2 + C3H5+
反应气 反应离子 准分子离子 （ QM
+
）
H
2
H
3
+
( M + H )
+
CH
4
CH
5
+
,C
2
H
5
+
,C
3
H
5
+
( M + H )
+
,( M + C
2
H
5
)
+
,( M + C
3
H
5
)
+
i- C
4
H
10
C
4
H
9
+
( M + C
4
H
9
)
+
NH
3
NH
4
+
( M + H )
+
,( M + N H
4
)
+
常用反应气：
甲烷、丙烷、异丁烷、氢气、氨、氮气、一氧化碳、
氩气等
优点：
(1) 分子量信息 &结构信
息
(2) 灵敏度高
(3) 有时可区分异构体。
缺点：对热不稳及不挥
发的 化合物仍然不适用。
EI 1.3× 10-4 Pa
CI 1.3× 102 Pa
3.3 场致和场解吸电离源（ FI & FD)
场电离源（ Field ionization）：
样品蒸汽临近或接触带高的正电荷的金属针时，高
曲率半径的针端产生的很高的电压强度使样品分子电离。
优点：（ 1）能得到分子量信息；
（ 2）能得某些有价值的结构信息。
缺点：（ 1）灵敏度低，结构信息少。
（ 2）不适用于不挥发的及对热不稳定的样品。
场解吸 (Field desorption)：
原理同场电离。但样品是沉积在电极上。与前三种相比，
最“软”。
优点：
（ 1） 固态时就能使样品分子电离，适合于难汽化和热不稳定样品
（ 2）有丰富的分子离子或准分子离子（甚至是基峰）
缺点,碎片离子极少，灵敏度一般不及 EI和 CI 。
甲基巴比妥的 EI,
CI,FI,FD源质
谱图比较
N
N
H
H
C H 3 C H 2 C H
H 3 C
O
OO
C H 2 C H C H 2
3.4 快原子轰击源 ( Fast atom
bombardment,FAB)和液体二次离子质谱
（ Liquid secondary ion mass
spectrometry,LSIMS）
快原子：中性原子束，
如 Xe,Ar,He
二次离子：重离子束，
如 Cs+
样品调在基质中，作为靶物，
惰性气体原子电离后被电压加
速，具有较大动能，然后在原
子枪里进行电荷交换反应，低
能量离子被电场偏转引出，高
动能原子对靶物进行轰击。
Xe??(快 ) + Xe(热动 ) ? Xe (快 ) + Xe? ?(热动 )
基质应具有流动性、低蒸汽压、化学惰性
对样品的较好溶解性
优点：
（ 1） 能得到分子离子或准分子离子 (除质子转移外, 还可能
加和基质分子及金属离子 ） ；
（ 2） 也有一些表征结构的碎片离子；
（ 3） 能在室温下产生离子, 不要求样品预先挥发；
（ 4） 样品寿命长 （ ?20分钟 ）, 利用率高, 离子流稳定；
（ 5） 应用范围广, 对高分子样品及生物样品尤其有效；
（ 6） 装置简单, 源电压低于 10KV。
缺点：
（ 1） 溶解样品的溶剂不易找；
（ 2） 由基质产生的本底谱很强, 往往掩盖住了弱的离子；
（ 3） 极易污染分析系统 （ 尤其是用离子枪时 ） 。
3.5大气压电离（ Atmospheric pressure
ionization,API）
3.5.1 电喷雾电离 (Electron Spray Ionization,ESI)
样品溶液从带有雾化器的毛细管端流出，在流出的瞬间受到
几方面的作用，在大气压下喷成在溶剂蒸汽中的无数细微带
电荷的液滴：
首先管端加几千伏的电压；同时雾化气流吹扫以脱去溶剂；
一定的温度。
液滴在运动中，受上述作用，溶剂不断蒸发，液滴不断
迅速变小，由于液滴带电，使得表面电荷密度不断增大，
当电荷之间的排斥力足以克服表面张力（瑞利极限），
液滴发生裂分，产生单电荷或多电荷离子。
正离子适用范围：含有 N, P, S,金属有机的样品
负离子适用范围：含有 - C O O H, - O H 的样品
?软电离，产生准分子离子
(M+H)+,(M+NH4)+,(M+Na)+,
(M+K)+…
(M-H)+,(M+CH3COO)+,
(M+Cl)+…
特点,
对生物大分子可生成多电荷离子 (M+nH)n+,(M-nH)n-
?适用范围
蛋白质分析，可测到 200kDa
中到高极性化合物
热不稳定化合物
离子型化合物
人体甲状旁腺素（ 1-44）的 ESI源质谱图
蛋白质细胞素 C的 ESI源质谱图
与傅立叶变换质谱仪联合，不仅可以获得电荷分布，还可
以将其中任一峰在高分辨下展开，将各种同位素峰分开。
F
F
C
O
N H C
O
N H
C l
C l
O C F 2 C F 2 H
氟铃脲的 EI –MS 谱
氟铃脲的 ESI 负离子谱
氟铃脲的 ESI源正离子谱
3.5.2 大气压化学电离（ Atmosphere Pressure Chemical
Ionization,APCI ）
样品溶液仍由具有雾化气套管的毛细管端流出，被氮气流
雾化，通过加热管时被气化。在加热管端进行电晕尖端放
电，溶剂分子被电离，作为反应气分子和样品分子反应，
得到样品分子的准分子离子。
特点：
软电离，产生准分子离子 (M+H)+,
(M+NH4)+,(M+Na)+,(M+K)+ …
(M-H)+,(M+CH3COO)+,(M+Cl)+…
主要产生单电荷离子；
与 ESI相比适用于极性较小的化合物；
热不稳定的化合物可能发生分解；
一般适合于分子量小于 1500的化合物。
ESI电离源适用范围：中高极性样品（多数样品检
测，首选）
APCI电离源适用范围：中低极性样品（ ESI无法
检出时，备用）
Note:一般样品检测均用 ESI，可满足约 80%样品的检测需
求,ESI无法检出的 20%样品，部分可用 APCI检出。有部
分样品是液质两种电离源都很难检出的，包括多环芳烃及
其衍生物，甾体类等。小分子易气化的物质（如苯，甲苯
等）也难检出，因其会随流动相挥发。
3.6 基质辅助激光解吸电离（ Matrix
assisted laser desorption ionization,MALDI)
将热敏感或不挥发的
化合物（ μmol.L-1级浓
度）和某种基质溶液
相混合，蒸发溶剂，
被分析物与基质成为
晶体或半晶体。采用
脉冲激光在一个微小
的区域里，在极短的
时间间隔里（纳秒数
量级），激光对靶物
提供高能量，使被分
析物直接从固相变成
离子而进行离子分析。
特点：
（ 1）对热敏感或不挥发的化合物可从固相直接得
到分子离子
（ 2）有分子离子、准分子离子及样品分子聚集的
多电荷离子，碎片离子峰少
（ 3）特别适合于与飞行时间质谱分析器相配，也
可与离子阱类型的质量分析器相配。
基质的主要作用是作为把能量从激光束传递给样品的中
间体，基质, 样品 > 1000:1。基质的选择主要取决于所
采用的激光波长，其次是被分析对象的性质。
Selecting an Interface 接口的选择
“Advances in LC/MS”,Waters Corporation,Milford,MA.
Soft Ionisation Hard
Less Fragments Fragments
API EICI
3.7 无机质谱电离源
2、电感耦合等离子体（ inductively coupled
plasma,ICP）源 ;
1、火花源
用于固体分析。
3、辉光放电离子源
4、激光诱导等离子体源和其它离子源
电感耦合等离子体质谱法优点主要有：
1、试样在常压下引入
2、气体的温度很高使试样完全蒸发和解离
3、试样原子电离的百分比很高
4、产生的主要是一价离子
5、离子能量分散小
6、外部离子源，离子并不处在真空中
7、离子源处于低电位，可配用简单的质量分析器
8、低检测限、高选择性和好的精度和准确度
100μg.mL－ 1Ce2＋ 溶液的 ICPMS图谱
质谱图及干扰：
1、光谱干扰
同质量类型离子干扰；多原子离子干扰；氧化物和
氢氧化物离子干扰；仪器和试剂制备引起的干扰
2、基体效应
溶液中共存物浓度大于 500-1000μg.mL-1时，共存物中
的低电离能元素如碱金属、碱土金属、镧系元素超过
限度，由它们提供的等离子体的数目很多，抑制包括
分析物元素在内的其它元素的电离。
可用稀释、基体匹配、标准加入等办法降低至最小。
应用：
1、定性和半定量分析
ICPMS易实现多元素分析，非常适合天然和人造材料的快
速鉴定和半定量分析。检测线优于 ICPAES,且谱图易于解释。
质量数从 139-175的 14种稀土同位素的 ICPMS质谱图，各元素质
量浓度 1 μg.mL-1。
2、定量分析
常用：工作曲线法；
精确：同位素稀释法，即标准加入法，往试样中 加入已
知量的添加同位素的标准溶液。添加同位素一般为分析
元素所有天然同位素中丰度较低的和寿命长的放射性同
位素，通过测量此同位素与参比同位素的信号强度比来
进行精密定量，参比同位素一般选用分析元素的最高丰
度同位素。
费时、费用高。
3、同位素比测量
过去采用热原子化和离子化，精确但费时,ICP－ MS快
速（一个试样几分钟），且可进行多元素测定。
3.8 二次离子质谱 (Second ion mass
spectrometry,SIMS)
是一种质谱表面分析方法，
可以测定 固体表面 的原子
和分子组成。
原理,一定能量的离子
（初级脉冲离子）打到固体
表面会引起表面原子、分子
或原子团的二次发射，即离
子溅射。溅射的粒子一般以
中性为主，其中有一部分带
有正、负电荷，这就是二次
离子。利用质量分析器接收
分析二次离子就得到二次离
子质谱。
聚苯乙烯的二次离子质谱
应用：
? 1、表面成分分析
SIMS的检测灵敏度是所有表面分析方法中最高的，适于
作痕量杂质分析。
? 2、深度剖析
与其他表面分析方法相比,SIMS连续研究所有正被剥离
的物质。可检测所有元素或同位素。
? 3、二维及三维分布成分
利用直接成像或扫描方式可得到试样各成分二维分布真
实图像，进而构成各种成分的三维分布图像。
? 3.1 电子轰击源（ Electron impact ionization,
EI）
灯丝在高真空中被电流炽
热，发射出电子，经电离
电压加速进入电离区，与
汽化的样品分子作用使得
一些分子获得能量失去电
子而形成正离子。
辅助磁场可使电子运动轨
迹成螺旋线性，增大与中
性分子的碰撞几率。
而生成的离子束沿着与电
子束成直角的方向被一高
的加速电压引出 。
一般采用 70 eV的轰击能量,标
准谱图就是 70 eV下获得。
不同能量下苯甲酸的 EI源质谱图
在不同能量电子束时苯甲酸的 EI谱中的
主要离子丰度
离子
(m/Z)
不同能量电子束时离子的相对丰度
9eV 12eV 15eV 20eV 30eV 70eV
122 100 100 100 100 100 100
105 0 8.1 29.7 70.3 81.1 81.1
77 40.5 56.8 64.9
51 43.2 48.7
39 10.8 18.9
EI源优点：
? （ 1） 多数情况下, 能获得分子离子, 即可获得分子量的
信息 。 同时也能获得很多由于分子离子碎裂所表现出来的
结构信息 。 由分子离子及大量的碎片离子, 可以推演出碎
裂过程, 从而可以推出被测有机分子的结构 。
? （ 2） 适应性广 。
? （ 3） 可以精确地控制电子束能量, 从而能方便地控制有
机分子的电离及分子离子的内能, 也即能控制分子离子的
碎裂 。
EI源的缺点：
? （ 1） 对有些化合物来说, 不能得到或仅能得到极弱的分
子离子峰 。 如链烃, 醇等, 这时就难以确定被测物分子的
分子量 。
? （ 2） 对一些位置异构体 （ 如二氯苯 ） 和顺反异构体不能
分辨, 或鉴别起来十分困难 。
? （ 3） 对于那些十分依赖加温才能挥发的有机物, 有时因
热不稳定而只能测得分解产物的质谱 （ 如肽类化合物 ）,
有的因根本不挥发而测不到有用的谱 （ 如聚苯乙烯 ） 。
3.2 化学电离源（ Chemical ionization
source,CI）
化学电离源的示意图
? 通过引入大量的试剂气，使样品分子与电离电子不直
接作用。试剂气分子被电子轰击电离后因离子－分子
反应产生一些活性反应离子，这些离子再与样品分子
发生离子－分子反应，使样品分子实现电离。
CH4 + e ? CH4+ ? + 2e
CH4+? + CH4 ? CH3? + CH5+
CH3+ + CH4 ? H2 + C2H5+
CH2+? + CH4 ? H2 + C2H4+?
?
C2H3+ + H?
C2H3+ + CH4 ? H2 + C3H5+
反应气 反应离子 准分子离子 （ QM
+
）
H
2
H
3
+
( M + H )
+
CH
4
CH
5
+
,C
2
H
5
+
,C
3
H
5
+
( M + H )
+
,( M + C
2
H
5
)
+
,( M + C
3
H
5
)
+
i- C
4
H
10
C
4
H
9
+
( M + C
4
H
9
)
+
NH
3
NH
4
+
( M + H )
+
,( M + N H
4
)
+
常用反应气：
甲烷、丙烷、异丁烷、氢气、氨、氮气、一氧化碳、
氩气等
优点：
(1) 分子量信息 &结构信
息
(2) 灵敏度高
(3) 有时可区分异构体。
缺点：对热不稳及不挥
发的 化合物仍然不适用。
EI 1.3× 10-4 Pa
CI 1.3× 102 Pa
3.3 场致和场解吸电离源（ FI & FD)
场电离源（ Field ionization）：
样品蒸汽临近或接触带高的正电荷的金属针时，高
曲率半径的针端产生的很高的电压强度使样品分子电离。
优点：（ 1）能得到分子量信息；
（ 2）能得某些有价值的结构信息。
缺点：（ 1）灵敏度低，结构信息少。
（ 2）不适用于不挥发的及对热不稳定的样品。
场解吸 (Field desorption)：
原理同场电离。但样品是沉积在电极上。与前三种相比，
最“软”。
优点：
（ 1） 固态时就能使样品分子电离，适合于难汽化和热不稳定样品
（ 2）有丰富的分子离子或准分子离子（甚至是基峰）
缺点,碎片离子极少，灵敏度一般不及 EI和 CI 。
甲基巴比妥的 EI,
CI,FI,FD源质
谱图比较
N
N
H
H
C H 3 C H 2 C H
H 3 C
O
OO
C H 2 C H C H 2
3.4 快原子轰击源 ( Fast atom
bombardment,FAB)和液体二次离子质谱
（ Liquid secondary ion mass
spectrometry,LSIMS）
快原子：中性原子束，
如 Xe,Ar,He
二次离子：重离子束，
如 Cs+
样品调在基质中，作为靶物，
惰性气体原子电离后被电压加
速，具有较大动能，然后在原
子枪里进行电荷交换反应，低
能量离子被电场偏转引出，高
动能原子对靶物进行轰击。
Xe??(快 ) + Xe(热动 ) ? Xe (快 ) + Xe? ?(热动 )
基质应具有流动性、低蒸汽压、化学惰性
对样品的较好溶解性
优点：
（ 1） 能得到分子离子或准分子离子 (除质子转移外, 还可能
加和基质分子及金属离子 ） ；
（ 2） 也有一些表征结构的碎片离子；
（ 3） 能在室温下产生离子, 不要求样品预先挥发；
（ 4） 样品寿命长 （ ?20分钟 ）, 利用率高, 离子流稳定；
（ 5） 应用范围广, 对高分子样品及生物样品尤其有效；
（ 6） 装置简单, 源电压低于 10KV。
缺点：
（ 1） 溶解样品的溶剂不易找；
（ 2） 由基质产生的本底谱很强, 往往掩盖住了弱的离子；
（ 3） 极易污染分析系统 （ 尤其是用离子枪时 ） 。
3.5大气压电离（ Atmospheric pressure
ionization,API）
3.5.1 电喷雾电离 (Electron Spray Ionization,ESI)
样品溶液从带有雾化器的毛细管端流出，在流出的瞬间受到
几方面的作用，在大气压下喷成在溶剂蒸汽中的无数细微带
电荷的液滴：
首先管端加几千伏的电压；同时雾化气流吹扫以脱去溶剂；
一定的温度。
液滴在运动中，受上述作用，溶剂不断蒸发，液滴不断
迅速变小，由于液滴带电，使得表面电荷密度不断增大，
当电荷之间的排斥力足以克服表面张力（瑞利极限），
液滴发生裂分，产生单电荷或多电荷离子。
正离子适用范围：含有 N, P, S,金属有机的样品
负离子适用范围：含有 - C O O H, - O H 的样品
?软电离，产生准分子离子
(M+H)+,(M+NH4)+,(M+Na)+,
(M+K)+…
(M-H)+,(M+CH3COO)+,
(M+Cl)+…
特点,
对生物大分子可生成多电荷离子 (M+nH)n+,(M-nH)n-
?适用范围
蛋白质分析，可测到 200kDa
中到高极性化合物
热不稳定化合物
离子型化合物
人体甲状旁腺素（ 1-44）的 ESI源质谱图
蛋白质细胞素 C的 ESI源质谱图
与傅立叶变换质谱仪联合，不仅可以获得电荷分布，还可
以将其中任一峰在高分辨下展开，将各种同位素峰分开。
F
F
C
O
N H C
O
N H
C l
C l
O C F 2 C F 2 H
氟铃脲的 EI –MS 谱
氟铃脲的 ESI 负离子谱
氟铃脲的 ESI源正离子谱
3.5.2 大气压化学电离（ Atmosphere Pressure Chemical
Ionization,APCI ）
样品溶液仍由具有雾化气套管的毛细管端流出，被氮气流
雾化，通过加热管时被气化。在加热管端进行电晕尖端放
电，溶剂分子被电离，作为反应气分子和样品分子反应，
得到样品分子的准分子离子。
特点：
软电离，产生准分子离子 (M+H)+,
(M+NH4)+,(M+Na)+,(M+K)+ …
(M-H)+,(M+CH3COO)+,(M+Cl)+…
主要产生单电荷离子；
与 ESI相比适用于极性较小的化合物；
热不稳定的化合物可能发生分解；
一般适合于分子量小于 1500的化合物。
ESI电离源适用范围：中高极性样品（多数样品检
测，首选）
APCI电离源适用范围：中低极性样品（ ESI无法
检出时，备用）
Note:一般样品检测均用 ESI，可满足约 80%样品的检测需
求,ESI无法检出的 20%样品，部分可用 APCI检出。有部
分样品是液质两种电离源都很难检出的，包括多环芳烃及
其衍生物，甾体类等。小分子易气化的物质（如苯，甲苯
等）也难检出，因其会随流动相挥发。
3.6 基质辅助激光解吸电离（ Matrix
assisted laser desorption ionization,MALDI)
将热敏感或不挥发的
化合物（ μmol.L-1级浓
度）和某种基质溶液
相混合，蒸发溶剂，
被分析物与基质成为
晶体或半晶体。采用
脉冲激光在一个微小
的区域里，在极短的
时间间隔里（纳秒数
量级），激光对靶物
提供高能量，使被分
析物直接从固相变成
离子而进行离子分析。
特点：
（ 1）对热敏感或不挥发的化合物可从固相直接得
到分子离子
（ 2）有分子离子、准分子离子及样品分子聚集的
多电荷离子，碎片离子峰少
（ 3）特别适合于与飞行时间质谱分析器相配，也
可与离子阱类型的质量分析器相配。
基质的主要作用是作为把能量从激光束传递给样品的中
间体，基质, 样品 > 1000:1。基质的选择主要取决于所
采用的激光波长，其次是被分析对象的性质。
Selecting an Interface 接口的选择
“Advances in LC/MS”,Waters Corporation,Milford,MA.
Soft Ionisation Hard
Less Fragments Fragments
API EICI
3.7 无机质谱电离源
2、电感耦合等离子体（ inductively coupled
plasma,ICP）源 ;
1、火花源
用于固体分析。
3、辉光放电离子源
4、激光诱导等离子体源和其它离子源
电感耦合等离子体质谱法优点主要有：
1、试样在常压下引入
2、气体的温度很高使试样完全蒸发和解离
3、试样原子电离的百分比很高
4、产生的主要是一价离子
5、离子能量分散小
6、外部离子源，离子并不处在真空中
7、离子源处于低电位，可配用简单的质量分析器
8、低检测限、高选择性和好的精度和准确度
100μg.mL－ 1Ce2＋ 溶液的 ICPMS图谱
质谱图及干扰：
1、光谱干扰
同质量类型离子干扰；多原子离子干扰；氧化物和
氢氧化物离子干扰；仪器和试剂制备引起的干扰
2、基体效应
溶液中共存物浓度大于 500-1000μg.mL-1时，共存物中
的低电离能元素如碱金属、碱土金属、镧系元素超过
限度，由它们提供的等离子体的数目很多，抑制包括
分析物元素在内的其它元素的电离。
可用稀释、基体匹配、标准加入等办法降低至最小。
应用：
1、定性和半定量分析
ICPMS易实现多元素分析，非常适合天然和人造材料的快
速鉴定和半定量分析。检测线优于 ICPAES,且谱图易于解释。
质量数从 139-175的 14种稀土同位素的 ICPMS质谱图，各元素质
量浓度 1 μg.mL-1。
2、定量分析
常用：工作曲线法；
精确：同位素稀释法，即标准加入法，往试样中 加入已
知量的添加同位素的标准溶液。添加同位素一般为分析
元素所有天然同位素中丰度较低的和寿命长的放射性同
位素，通过测量此同位素与参比同位素的信号强度比来
进行精密定量，参比同位素一般选用分析元素的最高丰
度同位素。
费时、费用高。
3、同位素比测量
过去采用热原子化和离子化，精确但费时,ICP－ MS快
速（一个试样几分钟），且可进行多元素测定。
3.8 二次离子质谱 (Second ion mass
spectrometry,SIMS)
是一种质谱表面分析方法，
可以测定 固体表面 的原子
和分子组成。
原理,一定能量的离子
（初级脉冲离子）打到固体
表面会引起表面原子、分子
或原子团的二次发射，即离
子溅射。溅射的粒子一般以
中性为主，其中有一部分带
有正、负电荷，这就是二次
离子。利用质量分析器接收
分析二次离子就得到二次离
子质谱。
聚苯乙烯的二次离子质谱
应用：
? 1、表面成分分析
SIMS的检测灵敏度是所有表面分析方法中最高的，适于
作痕量杂质分析。
? 2、深度剖析
与其他表面分析方法相比,SIMS连续研究所有正被剥离
的物质。可检测所有元素或同位素。
? 3、二维及三维分布成分
利用直接成像或扫描方式可得到试样各成分二维分布真
实图像，进而构成各种成分的三维分布图像。
