第六章 金属和半导体接触
例题:
例1. 设p型硅(如图7-2),受主浓度,试求:
(1) 室温下费米能级的位置和功函数;
EV
(2) 不计表面态的影响,该p型硅分别与铂和银接触后是否形成阻挡层?
若能形成阻挡层,求半导体一边势垒高度。
已知: ;
硅电子亲合能
思路与解:(1)室温下,可认为杂质全部电离,若忽略本征激发,则
得:
功函数
(2)不计表面态的影响。对p型硅,当时,金属中电子流向半导体,使得半导体表面势,空穴附加能量,使得能带向下弯,形成空穴势垒。所以, p型硅和银接触后半导体表面形成空穴势垒,即空穴阻挡层。又因,所以,p型硅和铂接触后不能形成阻挡层。
(3)银和p-Si接触形成的阻挡层其势垒高度:
评析:在不考虑表面态时,金属与半导体接触时,是形成肖特基势垒还是欧姆接触(反阻挡层接触),取决于金属和半导体的功函数差。
例2. 施主浓度的n型硅(如图),室温下功函数是多少?若不考虑表面态的影响,它分别同Al、Au、Mo接触时,是形成阻挡层还是反阻挡层?硅的电子亲合能取4.05eV。设,,。
思路与解:设室温下杂质全部电离:
则
即
n-Si 的功函数为:
已知:,,故二者接触形成反阻挡层。
,显然,
故Au 与n-Si接触,Mo与n-Si接触均形成阻挡层。
评析:在不考虑表面态时,金属与半导体接触时,是形成肖特基势垒还是欧姆接触(反阻挡层接触),取决于金属和半导体的功函数差。
习题:
1.什么是功函数?哪些因数影响了半导体的功函数?什么是接触势差?
2.什么是Schottky势垒?影响其势垒高度的因数有哪些?
3.什么是欧姆接触?形成欧姆接触的方法有几种?试根据能带图分别加以分析。
4.什么是镜像力?什么是隧道效应?它们对接触势垒的影响怎样的?
5.施主浓度为7.0×1016cm-3的n型Si与Al形成金属与半导体接触,Al的功函数为4.20eV,Si的电子亲和能为4.05eV,试画出理想情况下金属-半导体接触的能带图并标明半导体表面势的数值。
6.分别分析n型和p型半导体形成阻挡层和反阻挡层的条件。
7.试分别画出n型和p型半导体分别形成阻挡层和反阻挡层的能带图。
8.什么是少数载流子注入效应?
9.某Shottky二极管,其中半导体中施主浓度为2.5×1016cm-3,势垒高度为0.64eV,加上4V的正向电压时,试求势垒的宽度为多少?
10.试根据能带图定性分析金属-n型半导体形成良好欧姆接触的原因。