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第十章 电子衍射
?概述
?电子衍射原理
?电子显微镜中的电子衍射
?单晶电子衍射花样标定
?复杂电子衍射花样
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10-1 概述
电镜中的电子衍射,其衍射几何与 X射
线完全相同,都遵循布拉格方程所规定的
衍射条件和几何关系。 衍射方向可以由厄
瓦尔德球 (反射球 )作图求出。因此,许多问
题可用与 X射线衍射相类似的方法处理。
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电子衍射与 X射线衍射相比的优点
? 电子衍射能在同一试样上将形貌观察与结构分
析结合起来。
? 电子波长短,单晶的电子衍射花样婉如晶体的
倒易点阵的一个二维截面在底片上放大投影,
从底片上的电子衍射花样可以直观地辨认出一
些晶体的结构和有关取向关系,使晶体结构的
研究比 X射线简单。
? 物质对电子散射主要是核散射,因此散射强,
约为 X射线一万倍,曝光时间短。
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不足之处
电子衍射强度有时几乎与透射束相当,
以致两者产生交互作用,使电子衍射花样,
特别是强度分析变得复杂,不能象 X射线
那样从测量衍射强度来广泛的测定结构。
此外,散射强度高导致电子透射能力有限,
要求试样薄,这就使试样制备工作较 X射
线复杂;在精度方面也远比 X射线低。
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电子衍射花样特征
? 电子束照射
? 单晶体,一般为斑点花样;
? 多晶体,同心圆环状花样;
? 织构样品:弧状花样;
? 无定形试样(准晶、非晶):弥散环。
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衍射花样的分类
1) 斑点花样,平行入射束与单晶作用产生斑
点状花样;主要用于确定第二象、孪晶、有序化、
调幅结构、取向关系、成象衍射条件;
2) 菊池线花样,平行入射束经单晶非弹性散
射失去很少能量,随之又遭到弹性散射而产生线
状花样;主要用于衬度分析、结构分析、相变分
析以及晶体的精确取向、布拉格位置偏移矢量、
电子波长的测定等;
3) 会聚束花样,会聚束与单晶作用产生盘、
线状花样;可以用来确定晶体试样的厚度、强度
分布、取向、点群、空间群以及晶体缺陷等 。
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10- 2 电子衍射原理
? 布拉格定律
? 倒易点阵与爱瓦尔德球图解法
? 晶带定理与零层倒易截面
? 结构因子 — 倒易点阵的权重
? 偏离矢量与倒易点阵扩展
? 电子衍射基本公式
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布拉格定律
? 一般形式,2dsin?=?
? 极限条件,??2d,即对于给定的晶体,
只有当入射波长足够短时,才能产生衍
射。对于透射电镜,加速电压为 100~
200kV,则电子波波长 ??10-2~ 10-3 nm,
而常见晶体的晶面间距为 d ?10~ 10-1 nm,
因此,sin?=?/ 2d ?10-2,即 ??10-2rad
? 电子衍射角非常小,是电子衍射与 X射
线衍射之间的主要区别。
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偏离矢量
? 理论上获得衍射花样的条件,
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? 由于倒易阵点具有一定形状,因此在偏
离布拉格角范围 ± ??max内,倒易点也有
可能与厄瓦尔德球面相接触而产生衍射。
如图是倒易杆与厄瓦尔德球相交的情况,
当 2?偏离 ??时,倒易杆中心至与厄瓦尔
德球面交截点的距离可用矢量 s表示,s
就是 偏离矢量 。
? ??为正时,s矢量为正,反之为负;
? 精确符合布拉格条件时,??= 0,s= 0
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2?
试样
入射束
厄瓦尔德球
倒易点

底板
电子衍射花样形成示意图
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电子衍射基本公式
? 如图,一束波长为 ?的平行
单色入射电子束照射下,
面间距为 d的晶面族 {hkl}
满足布拉格条件,在距晶
体样品为 L的底片上照下了
透射斑点 Q和衍射斑点 P。
?2tg
L
R
RQP
?
?
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? 由于电子波波长很短,电子衍射的很小,一
般仅为 1~ 2,所以
代入布拉格公式 可得:
这就是电子衍射的基本公式。其中 L一般是确
定的,称为相机长度,称为相机常数,用 K表
示:
? 一般 K是已知的,因而通过底版测出 R就可求
出 d。
??? s i n22s i n2 ??tg
?? ?s in2 d
?LRd ?
?LK ?
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10-3 电子显微镜中的电子衍射
? 有效相机常数
? 选区电子衍射
? 磁转角
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有效相机常数
? 同一晶面的衍射束是平行的(如 hkl的衍射束
方向均为),所以同一晶面的衍射束将在物镜
背焦面上聚焦成一点,所有满足衍射条件的晶
面将在物镜的背焦面上形成一幅由透射斑点和
衍射斑点组成的衍射花样,该衍射花样与厄瓦
尔德球倒易截面相似。
? 由于通过透镜中心的电子束可以看成不受折射,
对于物镜背焦面上形成的第一幅花样而言,物
镜的焦距 f0相当于它的相机长度。
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使中间镜物平面与物镜背焦面
重合,且设中间镜及投影镜的
放大倍数分别为 MI,MP,则在
底版上:
0
00 s i n22
frd
ftgfPOr
?
??
?
?????
KL R d
LK
MMfL
)(
pI0
0
????
???
????
???
???
?
?
?

为有效相机常数
为有效相机长度定义
pI
PI
MMfRd
MMrR
样品
物镜
f0
O’ P’背焦面
r
2?
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选区电子衍射
? 选区衍射就是在样品上选择一个感兴趣的区域,
并限制其大小,得到该微区电子衍射图的方法。
也称微区衍射。两种方法:
? 光阑选区衍射( Le Pool方式) 用位于物镜象平面
上的选区光阑限制微区大小。先在明场象上找到感
兴趣的微区,将其移到荧光屏中心,再用选区光阑
套住微区而将其余部分挡掉。理论上,这种选区的
极限 ?0.5?m。
? 微束选区衍射 用微细的入射束直接在样品上选择
感兴趣部位获得该微区衍射像。电子束可聚焦很细,
所选微区可小于 0.5?m 。可用于研究微小析出相和
单个晶体缺陷等。目前已发展成为微束衍射技术。
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磁转角
? 电子显微镜所用的电磁透镜在聚焦、成象过程
中,除了使电子发生径向折射外,还有使电子
运动的轨迹绕光轴转动的作用,无论是显微图
象还是衍射花样,都存在一个磁转角的问题。
设图象相对于样品的磁轩角为 ?i,
衍射斑点相对于样品的磁转角为 ?d,
则衍射斑点相对于图象的磁转角为:
?=?i -?d
? 现代电镜一般都安装有磁转角自动补正装置。
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10-4 单晶电子衍射花样标定
? 单晶电子衍射花样的几何意义
? 单晶花样分析的任务
? 单晶电子衍射花样的指数化标定基本程

? 实例
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单晶电子衍射花样的几何意义
单晶电子衍射花样实际上是一个二维的倒
易截面 (uvw)*。花样中出现大量强度不等的衍
射斑点,主要得益于:
? 倒易阵点的扩展(倒易杆、盘、球等);
? 厄瓦尔德球半径 1/?很大,球面近似于平面;
? 加速电压不够稳定,入射电子束波长不单一,厄
瓦尔德球面具有一定厚度。
上述因素使倒易阵点接触球面的机会大大
增多,从而形成一幅完整的衍射花样。
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单晶花样分析的任务
? 基本任务
? 确定花样中斑点的指数及其晶带轴方向
[ uvw];
? 确定样品的点阵类型、物相和位向。
? 一般分析任务可分为两大类:
? 测定新结构,这种结构的参数是完全未
知的,在 ASTM卡片中和其它文献中都找
不到;
? 鉴定旧结构,这种结构的参数前人已作
过测定,要求在这些已知结构中找出符
合的结构来。
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单晶电子衍射花样的
指数化标定基本程序
? 主要方法有
尝试-校核法 和
标准花样对照法 。
? 标定步骤:
? 1、选择靠近中心且不在一直线上的几个斑点,测
量它们的 R值;
? 2、利用 R2比值的递增规律确定点阵类型和这几个
斑点所属的晶面族指数 {hkl}。如果已知样品和相机
常数,可分别计算产生这几个斑点的晶面间距( R
= K/ d),并与标准 d值比较直接写出 {hkl};
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? 3、进一步确定晶面组指数( hkl)。尝试
-校核法:首先根据斑点所属的 {hkl},任
意假定其中一个斑点的指数,如 h1k1l1,再
根据 和 的夹角测量值与计算值相符的
原则,确定第二个斑点的指数 h2k2l2 。夹
角可通过计算或查表得到,立方体的夹角
计算公式:
? 4、其余斑点的指数,可由 的矢量运算
得到,必要时也应反复验算夹角。
1R 2R
))((
c o s
2
2
2
2
2
2
2
1
2
1
2
1
212121
lkhlkh
llkkhh
????
????
R
33333333
213213213213
,,
,,
llkkhhRR
lllkkkhhhRRR
????????????
?????????
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? 5、任取不在同直线上的两个斑点(如 h1k1l1和 h2k2l2 )
确定晶带轴指数 [uvw]。
? 事实上,单晶电子衍射花样就是倒易点阵内以
入射电子束方向为法线的零层倒易截面放大象。
如果我们预先画出各种晶体点阵主要晶带的倒
易截面,以此作为不同入射条件下的标准花样,
则实际观察记录到的衍射花样,可以直接通过
与标准花样的对照,写出斑点指数并确定晶带
轴方向。
wvu
l
l
khlk
khlk
h
h
RRu v w
2
1
2222
1111
2
1
21
][ ??
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单晶电子衍射花样标定实例
? 如图为某一电子衍射花样,试标定。已知,
RA=7.3mm,RB=12.7mm,RC=12.6mm,
RD=14.6mm,RE=16.4mm,?=73?;
加速电压 200kV,相机长度 800mm。
000 A
B E
D
C
?
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斑点编号 A B C D E
R/mm 7.3 12.7 12.6 14.6 16.4
R2 53.29 161.29 158.76 213.16 268.96
Rj2/ RA2 1 3.03 2.98 4 5.05
(Rj2/ RA2 )?2 2 6.05 5.96 8 10.1
N 2 6 6 8 10
{hkl} 110 211 211 220 310
Hkl 110 211 121 220 301
311
1
0
1
1
2
1
1
0
1
1
2
1
3173gg
1121 1 0
????验证
0, 3 8 8 n ma
311311
?
?
数此为体心立方,点阵常
)],或倒易面为(晶带轴为[
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10-5 复杂电子衍射花样
? 高阶劳厄斑点
? 超点阵斑点
? 二次衍射斑点
? 孪晶斑点
? 菊池衍射花样
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高阶劳厄斑点
? 点阵常数较大的晶体,其倒易点阵的倒易面间
距较小,如果晶体很薄,则倒易杆很长,因此
与厄瓦尔德球面相交的不只是零层倒易面,其
上层或下层的倒易平面上倒易杆均有可能和厄
瓦尔德球面相交,从而形成高阶劳厄区,如图。
? 高阶劳厄斑点并不构成一个晶带,它们符合广
义晶带定律。由于高阶斑点和零层斑点分布规
律相同,因此只要求出它们之间的水平位移矢
量,便可对高阶劳厄区斑点进行标定。
? 高阶劳厄斑点可以给出晶体更多的信息,如可
消除 180度不唯一性和测定晶体厚度。
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超点阵斑点
? 当晶体内部的原子或离子产生有规律的位移或不同种原子产
生有序排列时,将引起其电子衍射结果的变化,即可以使本
来消光的斑点出现,这种额外的斑点称为超点阵斑点。
? AuCu3合金是面心立方固溶体,在无序相情况下,Au原子和
Cu原子是随机地分布在晶胞中的四个原子位置,因此它符合
面心立方的一般消光规律;在一定条件下,它会形成有序固
溶体,其中 Cu原子位于面心,Au原子位于顶点,如图。
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? 在 AuCu3有序相
中,当 hkl全奇
全偶时,结构因
子 F= fAu+ 3fCu;
当 hkl奇偶混杂
时,F= fAu-
fCu,即并不产
生消光,但这些
超点阵斑点强度
低。如图。
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二次衍射斑点
? 当入射电子束照射到一个由两层晶体组成的试
样上,如果两个晶面接近平行、晶面间距有差
别( d1<d2),第一个晶体的( h1k1l1)面各入
射束正好成布拉格角,则有一次衍射束 D1产
生,而 D1和第二个晶体的晶面( h2k2l2)之间
也满足布拉格条件,从而产生二次衍射束 D3。
如图。
? 面心和体心立方晶体中二次衍射斑点与正常斑
点重合,因此它们仅使正常斑点的强度产生变
化,但在其它点阵类型的晶体中(如密排六方
和金刚石立方)就会出现附加斑点。
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孪晶斑点
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菊池衍射花样